第三代半導(dǎo)體,如sic和gan等材料的興起與應(yīng)用,大幅度提高了功率器件的工作頻率、電流密度和服役溫度。傳統(tǒng)的導(dǎo)電膠固化技術(shù)和釬焊料技術(shù)無法滿足功率器件的散熱與機(jī)械可靠性需求。
基于燒結(jié)銀材料的低溫?zé)Y(jié)技術(shù)目前已經(jīng)逐漸開始應(yīng)用于第三代半導(dǎo)體功率器件中,常規(guī)的方法是將燒結(jié)銀焊膏涂覆在基板上,置于鼓風(fēng)干燥箱中進(jìn)行加熱,使得有機(jī)溶劑大量揮發(fā),
然而上述方法因?yàn)闊Y(jié)銀中含有部分溶劑揮發(fā)需求一段時(shí)間;或者預(yù)烘和預(yù)壓都需要比較長(zhǎng)的時(shí)間,以上都制約了客戶的生產(chǎn)效率,幫助客戶提率成為了當(dāng)務(wù)之急。