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單晶爐晶體提拉系統(tǒng)平衡研究\提拉法單晶爐是晶體生長(zhǎng)設(shè)備中重要的產(chǎn)品系列之一,用此方法單晶生長(zhǎng)速度,晶體尺寸,晶體質(zhì)量,易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制,因此獲得了廣泛的應(yīng)用。而此方法生產(chǎn)單晶的主要因素取決于單晶提拉過(guò)程的平穩(wěn)性,因此提拉系統(tǒng)良好的平穩(wěn)性是提高單晶爐設(shè)備性能和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。以良好的平穩(wěn)性為目標(biāo),本文對(duì)單晶爐提拉系統(tǒng)進(jìn)行了系統(tǒng)平衡方面的研究。本文介紹了單晶爐提拉系統(tǒng)的功能、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及工作原理；討論了單晶爐提拉系統(tǒng)靜平衡與動(dòng)平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系統(tǒng)完全平衡的條件,以及提拉系統(tǒng)不平衡校正的方法。

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D． 罩式爐（主要用于退火，加熱罩可吊移） 　　E． 底升式罩式爐（罩子固定，升降底座，適用于大型爐子） 　　F． 轉(zhuǎn)筒式爐 　　G． 密封箱式爐（又稱為多用爐，可進(jìn)行滲碳、光潔淬火、碳氮共滲等熱處理工藝。采用輻射管加熱，輻射管是由耐火陶瓷盤固定的電阻絲裝于一個(gè)密封耐熱鋼管中，這樣的結(jié)構(gòu)使?fàn)t內(nèi)氣氛對(duì)加熱元件不會(huì)有影響）4． 連續(xù)式電阻爐　　A． 推送式爐 　　B． 傳送帶式爐 　　C． 網(wǎng)帶爐（適用于薄小零件的退火、燒結(jié)、釬焊及固溶處理。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，單晶爐設(shè)備知識(shí)、部分電控柜1.兩個(gè)濾波器的作用型號(hào),原理以及正常工作的電壓,輸入輸出(好壞如何檢測(cè))2.兩個(gè)伺服驅(qū)動(dòng)器的作用原理型號(hào)以及相關(guān)判斷方式,輸入輸出(好壞如何檢測(cè))3.兩個(gè)一般驅(qū)動(dòng)器的作用原理型號(hào)以及判斷方式,輸入輸出(好壞如何檢測(cè))4.繼電器的型號(hào)作用以及類別,輸入輸出(好壞如何檢測(cè))5.反饋放大板的作用原理以及各元件名稱作用和原理圖,輸入輸出(好壞如何檢測(cè))6.