用途
無(wú)塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。

無(wú)塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

一般的電熱（鼓風(fēng)）無(wú)塵干燥箱均設(shè)有溫度均勻度參數(shù)：自然對(duì)流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強(qiáng)制對(duì)流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟電熱真空干燥箱不設(shè)溫度均勻度參數(shù)，這是為什么？真空干燥箱內(nèi)依靠氣體分子運(yùn)動(dòng)使工作室溫度達(dá)到均勻的可能性幾乎已經(jīng)沒(méi)有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱（鼓風(fēng)）干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來(lái)。在真空狀態(tài)下設(shè)這個(gè)指標(biāo)也是沒(méi)有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個(gè)物體，距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現(xiàn)象與冬天曬太陽(yáng)時(shí)，曬到太陽(yáng)的一面很暖和，曬不到太陽(yáng)的一面比較冷是一個(gè)道理。由于真空干燥箱在結(jié)構(gòu)上很難做到使工作室三維空間內(nèi)的各點(diǎn)輻射熱的均勻一致，同時(shí)也缺乏的評(píng)估方法，這有可能是電熱真空干燥箱標(biāo)準(zhǔn)中不設(shè)溫度均勻度參數(shù)的原因。

無(wú)塵潔凈烘箱是一種新型可營(yíng)造無(wú)氧的恒溫環(huán)境的電熱鼓風(fēng)干燥箱，在加溫工作的同時(shí)充入氮?dú)?，適用高溫易氧化產(chǎn)品烘烤，可滿足半導(dǎo)體電子、金屬、晶圓、油墨、醫(yī)療衛(wèi)生儀器、儀表，工廠，高等院校，科研部門(mén)等相關(guān)單位作生產(chǎn)烘實(shí)驗(yàn)的需要。該烘箱采用不銹鋼工作室(滿涅制造、覆套不銹鋼加熱器加熱，充入惰性氣體，因此干娛箱內(nèi)造成潔凈(可選裝耐高溫過(guò)濾器，達(dá)到潔凈無(wú)塵要求)和溫度均勻的微氧高溫環(huán)境(含氧濃度20-500PPM )，有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量，該箱外形美觀，使用方便控溫靈敏

無(wú)塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區(qū)、加熱系統(tǒng)、轉(zhuǎn)子流量計(jì)，氣體減壓調(diào)節(jié)閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區(qū)內(nèi)壁選用不銹鋼板、箱體與內(nèi)室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門(mén)與烘烤區(qū)邊框裝有保溫密封條(耐高溫門(mén)封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節(jié)約氮?dú)?，洪烤區(qū)內(nèi)配置抽動(dòng)的三層載物網(wǎng)板( 可按需設(shè)計(jì))。

無(wú)塵潔凈烘箱的使用注意事項(xiàng)及操作規(guī)程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長(zhǎng)期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區(qū)的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對(duì)烘箱內(nèi)溫度實(shí)時(shí)多點(diǎn)顯示及自動(dòng)記錄。C出風(fēng)口裝有耐高溫空氣過(guò)濾器，每次運(yùn)風(fēng)循環(huán)均充分過(guò)濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對(duì)內(nèi)部的二次污染.D.裝有過(guò)濾器，電熱烘箱內(nèi)部循環(huán)熱風(fēng)經(jīng)高溫空氣過(guò)濾器反復(fù)過(guò)濾，了進(jìn)入無(wú)塵空間的熱風(fēng)達(dá)到100級(jí)潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統(tǒng)及運(yùn)風(fēng)系統(tǒng)，了各潔凈區(qū)之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發(fā)生。
F.必要時(shí)潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護(hù))，防止被烘烤產(chǎn)品的氧化

無(wú)塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。