循環(huán)經濟價值
回收 1 噸含鎳 10% 的廢渣，可提煉約 100kg 金屬鎳，相當于減少 2-3 噸鎳礦石開采。
貴金屬回收成本約為原生金屬的 30%-50%，經濟效益顯著。

主流處理技術
濕法冶金：用酸 / 堿溶解廢渣，通過萃取、沉淀分離金屬離子，適用于高濃度金屬廢渣。
火法冶煉：高溫熔煉廢渣，金屬轉化為合金或氧化物，適用于處理含貴金屬的陽極泥。
固化 / 穩(wěn)定化：用水泥、樹脂包裹廢渣，降低重金屬遷移性，用于無害化處置。

廢渣主要來源
靶材損耗：濺射過程中未沉積的金屬 / 陶瓷靶材粉末（如鈦、鉻、鋯、氮化鈦等）；
設備維護：真空腔體內殘留的沉積廢料、更換的靶材邊角料；
工藝副產物：反應氣體（如 N?、Ar、CH?）與靶材反應生成的固態(tài)顆粒物（如碳化物、氮化物）；
廢氣處理殘渣：尾氣凈化裝置（如活性炭吸附、過濾器）捕獲的金屬粉塵。

直接資源化利用
作為新材料原料：
廢渣中的 TiN 粉末可添加到陶瓷刀具原料中，提高耐磨性；
金屬粉末經壓制 - 燒結后，制成靶材再生料（成本比新靶材低 40%）；
建筑材料添加物：固化穩(wěn)定化后作為混凝土添加劑（需確保重金屬浸出濃度＜GB 5085.6 標準）。

環(huán)保處理
回收過程中產生的廢液（如含酸、含氰、含重金屬離子）需經中和、沉淀、吸附等處理，達到環(huán)保排放標準后排放。
固體廢料（如浸出后的殘渣）若仍含微量貴金屬或有害成分，需進一步安全處置（如固化、填埋）或二次回收。

典型場景舉例
電子廢料回收：線路板、芯片中的金、銀、鈀通過酸浸→萃取→還原→電解精煉，得到屬。
電鍍廢渣回收：含金銀的電鍍污泥經破碎→氰化浸出→鋅粉置換→電解，提取金銀。
汽車催化劑回收：含鉑、鈀、銠的催化劑經破碎→酸浸或堿熔→萃取分離→還原，得到鉑族金屬。