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工作原理如下:取出晶棒后,將硅料加入加料坩堝62,蓋上外部加料器6的上蓋63,將外部加料器6真空抽到合適壓力值時打開旋閥64,硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化,熔化后的硅料流入主爐室坩堝21,當外部化料器7中的硅料加完后,再關閉旋閥64,把外部加料器6充常壓,打開外部加料器6的上蓋63繼續(xù)加料,如此循環(huán),進而完成外部加料、化料,本發(fā)明可實現(xiàn)連續(xù)拉晶,選用合適的主爐室坩堝21可以實現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒,可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間,進而提高生產效率;本發(fā)明可通過加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置將外部加料器6移出工作位并旋開,進而方便拆爐和清理,本發(fā)明的加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件;本發(fā)明可通過副爐室升降驅動裝置12和副爐室旋轉驅動裝置13驅動副爐室3移動,
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直拉法,也叫切克勞斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克勞斯基建立的一種晶體生長方法,用直拉法生長單晶的設備和工藝比較簡單,容易實現(xiàn)自動控制,生產,易于制備大直徑單晶,容易控制單晶中雜質濃度,可以制備低電阻率單晶。據(jù)統(tǒng)計,世界上硅單晶的產量中70%~80%是用直拉法生產的。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,所述化料器升降驅動裝置包括支撐桿191、絲杠192、電機193和連接塊194,所述支撐桿191連接在化料器旋臂18上,所述絲杠192可旋轉地支承在支撐桿191上,所述電機193連接在絲杠192上,所述連接塊194通過螺紋連接在絲杠192上,所述外部化料器7連接在連接塊194上,以便通過電機193驅動絲杠192旋轉,進而將絲杠192的旋轉運動轉換為連接塊194的直線運動,并通過所述連接塊194帶動外部化料器7升降。具體地,為了使得溶化后的硅料更好地進入主爐室坩堝21內,所述外部化料器7的底端和主爐室坩堝21之間還設置有用于導流溶化后的硅料的導流管20。