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生長(zhǎng)Φ8“直拉硅單晶Φ8”熱場(chǎng)研究及數(shù)值模擬\隨著科學(xué)的飛速發(fā)展,出于提高生產(chǎn)率、降低成本的目的,器件廠家隨著生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大逐步要求增大硅片直徑。硅單晶直徑增大后,大熔硅體積、嚴(yán)重的熱對(duì)流使單晶氧含量增大。晶體直徑的增大也使結(jié)晶潛熱的散發(fā)更加困難,結(jié)晶速率難以提高。為了解決這兩個(gè)問(wèn)題,本文在國(guó)產(chǎn)TDR-80單晶爐的基礎(chǔ)上,對(duì)熱場(chǎng)進(jìn)行了局部改造,施加了新型加強(qiáng)復(fù)合式熱屏。有限元法是一種能求得許多工程問(wèn)題近似解的數(shù)值分析方法。由于拉單晶過(guò)程中投料量較大,爐體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、造價(jià)昂貴,所以拉晶實(shí)驗(yàn)成本太高。

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液壓傳動(dòng)裝置能準(zhǔn)確的完成主爐室和副爐室的開(kāi)啟，爐室、副爐室上升到位后對(duì)稱旋出，保主機(jī)穩(wěn)定可靠，并便于機(jī)動(dòng)取出晶體，拆裝熱場(chǎng)系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。爐體部件采用316L不銹鋼，法蘭整體鍛造，經(jīng)過(guò)振動(dòng)消除應(yīng)力、缺陷檢查和探傷檢驗(yàn)及氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，單晶爐的結(jié)構(gòu)及基本操作;爐子本體包括機(jī)架、坩堝驅(qū)動(dòng)裝置、主爐室、翻板閥、副爐室、籽晶提升機(jī)構(gòu)、液壓驅(qū)動(dòng)裝置、真空系統(tǒng)、沖系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)。機(jī)架由底座、上立柱和下立柱組成，是爐子的支撐裝置。的光伏產(chǎn)業(yè)憑借著自身的努力，經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展，在綜合實(shí)力上地位。的光伏自造產(chǎn)業(yè)，在幫助其他和地區(qū)實(shí)現(xiàn)節(jié)能減排的同時(shí)，有足夠的能力來(lái)幫助實(shí)現(xiàn)自身能源結(jié)構(gòu)的調(diào)整。