背散射電子產(chǎn)生于樣品表面之下，可提供 樣品材質(zhì)成分的襯度信息。背散射電子通 常以與入射電子束成 15 度角的圓錐狀出 射， 被 Gemini 鏡筒電子束推進器吸入后射 到鏡筒內(nèi)。由于二次電子( SE ) 與背散射 電子( BSE ) 具有不同的能量，它們會在電 子束推進器內(nèi)產(chǎn)生不同軌跡。

產(chǎn)品應用領(lǐng)域
■ 金屬 / 高分子 / 陶瓷材料
表面粗糙度分析, 高分辨金相分析, 摩擦磨損分析, 斷口分析, 腐蝕研究, 原位分析。
■ 微納加工
結(jié)構(gòu)分析,表面粗糙度分析, 高深寬比結(jié)構(gòu)表征,膜厚測量。
■ 半導體和微電子
表面缺陷定位和分析、發(fā)光缺陷觀察,表面粗糙度分析,膜厚測量等。
■ 醫(yī)療器械檢測
表面粗糙度分析,金相分析,膜厚測量,微生物觀察等。
■ 生物材料和醫(yī)學
金屬表面細胞生長研究, 微生物金屬腐蝕研究, 植入物表面細菌生長表征等。

成像靈活.光學顯微鏡和共聚焦顯微鏡二合一
■ 實現(xiàn)反射光和透射光的觀察, 同時也可進 行形貌表征;
■ 使用寬場觀察方式實現(xiàn)樣品的定位, 便于 共聚焦顯微鏡進—步原位分析;
■ 無需切換顯微鏡, 減少儀器設(shè)置時間, 提 高獲得結(jié)果的效率。