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具體地,為了減小螺釘16的上端部與上減震橡膠墊172之間的壓強,進而延長上減震橡膠墊172的使用壽命,所述螺釘16的上端部和上減震橡膠墊172之間設(shè)置有墊片173。在本實施例中,所述螺釘16設(shè)置有四個,為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時,可以更方便地將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置,并方便外部化料器7的移動、拆解和清理,連續(xù)拉晶單晶爐還包括化料器升降驅(qū)動裝置和化料器旋臂18,所述底座1上設(shè)置有立柱10,所述化料器旋臂18鉸接在立柱10上,所述化料器升降驅(qū)動裝置連接在化料器旋臂18上,所述外部化料器7連接在化料器升降驅(qū)動裝置上,以便在不繼續(xù)加料時,通過化料器升降驅(qū)動裝置驅(qū)動外部化料器7上升不干涉主爐室坩堝21上升的位置;和化料器升降驅(qū)動裝置及外部化料器7隨化料器旋臂18一起轉(zhuǎn)動。藍(lán)寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,工作原理如下:取出晶棒后,將硅料加入加料坩堝62,蓋上外部加料器6的上蓋63,將外部加料器6真空抽到合適壓力值時打開旋閥64,硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化,熔化后的硅料流入主爐室坩堝21,當(dāng)外部化料器7中的硅料加完后,再關(guān)閉旋閥64,把外部加料器6充常壓,打開外部加料器6的上蓋63繼續(xù)加料,如此循環(huán),進而完成外部加料、化料,本發(fā)明可實現(xiàn)連續(xù)拉晶,選用合適的主爐室坩堝21可以實現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒,可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間,進而提高生產(chǎn)效率;本發(fā)明可通過加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置將外部加料器6移出工作位并旋開,進而方便拆爐和清理,本發(fā)明的加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件;本發(fā)明可通過副爐室升降驅(qū)動裝置12和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13驅(qū)動副爐室3移動,

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直拉硅單晶熱場加熱器設(shè)計分析\1熱場及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進行單晶生長的整個溫度場系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導(dǎo)流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導(dǎo)流系統(tǒng)包括導(dǎo)流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進行,以及晶棒的拉速和品質(zhì)。