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氦檢真空檢漏標準通常是由行業(yè)標準或者相關(guān)的國家標準制定的。不同行業(yè)和應(yīng)用場景可能會有不同的標準，以下是一些常見的標準：

1.美國國家標準ANSI/HVAC 4.2: 該標準主要適用于空調(diào)、制冷設(shè)備等行業(yè)，要求檢測小泄漏率為0.4 oz/yr。

2.美國國家標準MIL-STD-883: 該標準主要適用于航空航天、等領(lǐng)域，要求檢測小泄漏率為1x10^-9 std cm^3/s。

3.歐洲標準EN 1779: 該標準主要適用于制造和維護真空設(shè)備的領(lǐng)域，要求檢測小泄漏率為5x10^-10 Pa m^3/s。

4.SEMI標準E77-1014: 該標準主要適用于半導體、光伏等行業(yè)，要求檢測小泄漏率為1x10^-9 atm cm^3/s。

需要注意的是，不同的檢測方法和設(shè)備可能會對檢測結(jié)果產(chǎn)生影響，因此在進行氦檢真空檢漏時，應(yīng)當參考相應(yīng)的標準，并且結(jié)合實際情況選擇合適的檢測方法和設(shè)備，以確保檢測結(jié)果的準確性和可靠性。