寧波余姚真空爐回收 寧波余姚真空流量計(jì)回收
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具體實(shí)施方式為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，一種連續(xù)拉晶單晶爐，它包括括底座1、主爐室2、副爐室3、下驅(qū)動(dòng)裝置4和上驅(qū)動(dòng)裝置5，所述主爐室2和下驅(qū)動(dòng)裝置4均安裝在底座1上，所述主爐室2內(nèi)設(shè)置有爐室坩堝21，所述下驅(qū)動(dòng)裝置4和主爐室坩堝21相連，以便通過下驅(qū)動(dòng)裝置4驅(qū)動(dòng)主爐室坩堝21升降，所述副爐室3和主爐室2相連通，所述上驅(qū)動(dòng)裝置5安裝在副爐室3的上端，以便通過上驅(qū)動(dòng)裝置5驅(qū)動(dòng)拉晶，其特征在于，它還包括：外部加料器6，所述外部加料器6內(nèi)設(shè)置有加料腔61，所述加料腔61內(nèi)設(shè)置有加料坩堝62，所述外部加料器6的蓋裝有上蓋63；藍(lán)寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，所述熱場73套裝在化料器坩堝72的外側(cè)，便硅料依次進(jìn)入加料坩堝62、裝料器71和化料器坩堝72，并在化料器坩堝72內(nèi)經(jīng)熱場73熔化后又進(jìn)入主爐室坩堝21，為了方便外部加料器6的移動(dòng)、拆卸和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括用于驅(qū)動(dòng)外部加料器6升降的加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和用于驅(qū)動(dòng)外部加料器6旋轉(zhuǎn)的加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，所述外部加料器6通過加料器旋臂8連接在加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置上，以便通過加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)加料器旋臂8升降，并通過加料器旋臂8帶動(dòng)外部加料器6升降，所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置連接在加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋臂8之間，以便加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置隨加料器旋臂8一起升降，并通過加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)加料器旋臂8旋轉(zhuǎn)，加料器旋臂8又帶動(dòng)外部加料器6旋轉(zhuǎn)。
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生長Φ8“直拉硅單晶Φ8”熱場研究及數(shù)值模擬\隨著科學(xué)的飛速發(fā)展,出于提高生產(chǎn)率、降低成本的目的,器件廠家隨著生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大逐步要求增大硅片直徑。硅單晶直徑增大后,大熔硅體積、嚴(yán)重的熱對流使單晶氧含量增大。晶體直徑的增大也使結(jié)晶潛熱的散發(fā)更加困難,結(jié)晶速率難以提高。為了解決這兩個(gè)問題,本文在國產(chǎn)TDR-80單晶爐的基礎(chǔ)上,對熱場進(jìn)行了局部改造,施加了新型加強(qiáng)復(fù)合式熱屏。有限元法是一種能求得許多工程問題近似解的數(shù)值分析方法。由于拉單晶過程中投料量較大,爐體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、造價(jià)昂貴,所以拉晶實(shí)驗(yàn)成本太高。
