Edwards 半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,
同時(shí)程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
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