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權(quán)利要求1、一種直拉式單晶生長爐，包括設(shè)于該爐頂部并伸入爐內(nèi)的輸入管(12)、與輸入管(12)相連通的環(huán)形氣體分布器(11)；其特征在于經(jīng)輸入管(12)輸入的氣壓為0.8×10a0.9×10a，流量為30L/min。2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于還包括 設(shè)于該爐的坩堝支持器(14)下方和該爐底部的排氣口 (13)之間的氣流 導(dǎo)向裝置(20);該氣流導(dǎo)向裝置(20)為碗形，其包括設(shè)于氣流導(dǎo)向裝 置(20)底部的中軸孔(2-1)、設(shè)于所述中軸孔(2-1)兩側(cè)的一對電 極孔(2-2)、以及設(shè)于所述中軸孔(2-1)兩側(cè)并與該爐的排氣口 (13)相 對的通氣孔(2-3);該爐的石墨中軸(21)

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因此,避免提拉系統(tǒng)的晃動是單晶爐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的關(guān)鍵點(diǎn)之一。在生產(chǎn)實(shí)際中發(fā)現(xiàn),某型號單晶爐的提拉系統(tǒng)在工作轉(zhuǎn)速接近13~14r/min范圍時(shí),提拉系統(tǒng)的軟軸會出現(xiàn)明顯的晃動,這個問題一直制約著晶體生長的質(zhì)量和生產(chǎn)效率的提高。以前雖然提出過很多的解決措施,但其效果均不明顯。本文擬采用有限元分析的方法,對單晶爐的提拉系統(tǒng)進(jìn)行分析,找出引起提拉系統(tǒng)軟軸晃動分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，二部分爐體(上部)1.速度編碼器的原理型號作用以及輸入輸出(好壞如何檢測)2.光電編碼器的原理型號作用以及輸入輸出(好壞如何檢測)3.減速器的原理型號構(gòu)造以及傳動原理( 好壞如何檢測)3.減速器的原理型號構(gòu)造以及傳動原理(好壞如何檢測)4.各電機(jī)作用構(gòu)造(好壞如何檢測)5.提升機(jī)構(gòu)的原理以及傳動方式6.液壓機(jī)構(gòu)的原理以及傳動方式,包括液壓泵的原理輸入輸出(好壞如何檢測)7.各限位的作用以及關(guān)系,限位原理,輸入輸出(好壞如何檢測8.磁流體的原理,用途(如何保養(yǎng))9.