升降機(jī)構(gòu)運(yùn)動部件是整個機(jī)構(gòu)的核心部件，完成升降運(yùn)動是傳輸系統(tǒng)對機(jī)構(gòu)的核心要求。通過的檢測裝置測量運(yùn)動部件的位置，反映其運(yùn)動速度、時間以及重要的定位情況。升降機(jī)構(gòu)的定位精度直接影響晶圓到達(dá)工件臺上的精度。

目前，半導(dǎo)體制程設(shè)備中，常常需要用電機(jī)通過傳動帶帶動滾珠絲桿，來控制晶圓的升降。而傳動帶通過摩擦來傳遞動力，因此傳動帶要調(diào)整張緊力以獲得合適的摩擦力。通過調(diào)整傳動帶的張緊度可以調(diào)整傳動帶和齒輪之間的摩擦力，傳動帶的張緊度可通過調(diào)節(jié)電機(jī)位置進(jìn)行調(diào)整。另外傳動帶過緊會使傳動帶磨損嚴(yán)重，過松則易產(chǎn)生打滑現(xiàn)象，使傳動帶嚴(yán)重磨損甚至燒壞。

在制造IC的生產(chǎn)線中，已全面采用了計(jì)算機(jī)控制和機(jī)器人搬運(yùn)。對于復(fù)雜的作人為失誤在所難免，而且在潔凈室中，即使操作者身著無塵服，也不免造成污染。采用計(jì)算機(jī)控制和機(jī)器人搬運(yùn)，可提高產(chǎn)品質(zhì)量和安全性，從而降低成本。