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潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室設(shè)計中受到關(guān)注的問題，隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的提高等，對有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進，對是否采用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個熱點：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來，受到關(guān)注。以下對這些問題的情況分別作歸納和分析。關(guān)于三項式溫度沖擊試驗箱的除霜原理三箱式溫度沖擊試驗箱的霜通常是出在預(yù)冷區(qū)的蓄能組件上的。三箱式溫度沖擊是通過三個箱體間的氣流轉(zhuǎn)換來交換熱量，達到?jīng)_擊效果的。這三個箱體與箱外的空氣隔絕開來的。也就是說相對外界，這三個箱體是密閉的。既然是密閉的空間，那么他們的水分含量就是定量的，不可能憑空生出額外的水分來。也就是說理論上講，預(yù)冷區(qū)是不應(yīng)該有霜的。但是在使用中溫度沖擊三個箱體僅有測試區(qū)是可供客戶開啟，放置產(chǎn)品的，要引入水分，也只有測試區(qū)開門后才可能。
