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全自動控制系統(tǒng)采用模塊化設計，維護方便，可靠性高，抗干擾性好。雙攝像頭實時采集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復性。爐內溫度或加熱功率控制方式可選，?？販鼐?。質量流量計控制流量。真空計結合電動蝶閥實時控制爐內真空度。上稱重傳感器用于晶棒直徑的輔助控制。伺服電機和步進電機的混合使用，即可滿足轉動所需的扭矩，又可實現(xiàn)轉速的控制。質量流量計控制流量。自主產權的控制軟件采用視窗平臺，操作方便簡潔直觀。多種曲線和數(shù)據(jù)交叉分析工具提供了工藝實時監(jiān)控的平臺。完整的工藝設定界面使計算機可以自動完成幾乎所有的工藝過程。加熱電源采用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統(tǒng)直流電源節(jié)能近15%。特殊的溫場設計使晶體提拉速度提高20-30%。

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而邊壁的邊界層又是主要影響因素。另一機理是高濃度塵流中粉塵顆粒的擴散與凝聚這對矛盾中凝聚成為主要矛盾方面。粉塵顆粒可以彼此凝聚在一起。又可能與實質界面凝聚而吸附在其上面。通過這兩個機理，后粉塵從氣體中分離出來。 排塵過程排塵過程主要是經分離界面以后已分離出來的粉塵排離排塵口，不同的除塵器排塵的作用力也不同。有些除塵器不需要再加額外動力能利用原捕集分離的外力把粉塵排離除塵器。而另一些除塵器則需要加額外的動力才能把已分離的粉塵排出。 排氣過程已棄塵后相對凈化的氣流從排氣口排出的過程稱為排氣過程。上述基本知識是除塵器、過濾器設計制造的理論基礎。下面具體討論單晶爐領域除塵技術。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，為了使拖板92更平穩(wěn)地升降，所述立柱10和拖板92之間還設置有用于導向拖板92的升降的導向裝置，所述導向裝置包括設置在立柱10上的導軌101和設置在拖板92上的滑塊，所述拖板92通過滑塊與導軌101的配合滑配在立柱10上。為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料，所述升降絲桿91的外側套裝有可伸縮的防塵罩95，所述防塵罩95為波紋防塵罩。所述加料器升降驅動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2內的零部件，所述加料器旋轉驅動裝置包括旋轉電機111、旋轉絲桿112、旋轉套113和固定座114，所述旋轉套113鉸接在拖板92上，所述旋轉絲桿112可旋轉地支承在固定座114上，所述旋轉電機111安裝在固定座114上，所述旋轉絲桿112的一端部和旋轉電機111的輸出軸相連接，所述旋轉絲桿112的另一端部和旋轉套113通過螺紋連接，所述加料器旋臂8鉸接在拖板92上，以便通過旋轉電機111驅動旋轉絲桿112在旋轉套113內旋進旋出，使得固定座114產生位移，并使固定座114帶動加料器旋臂8旋轉。具體地，為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料，所述旋轉絲桿112的外側套裝有可伸縮的防塵罩95，所述防塵罩95為波紋防塵罩。