探針一般由精密儀器鉚接預(yù)壓后形成,針頭、針尾、彈簧、外管四個基本部件。
由于半導(dǎo)體產(chǎn)品體積小,特別是芯片產(chǎn)品尺寸非常小,探針尺寸要求達到微米級。它是一種精密電子元器件,具有較高的制造技術(shù)含量。
在晶圓或芯片測試的過程中,通常會使用探針來準確連接晶圓或芯片的引腳或錫球與測試機,以便檢測產(chǎn)品的導(dǎo)通性、電流性、功能性和老化性等性能指標。
可彈性探針是一個由螺旋彈簧組成的探針,其兩端連接在上下柱栓上。螺旋彈簧的中間部分緊密纏繞在一起,以防止產(chǎn)生額外的電感和附件電阻。而彈簧的兩端部分則被稀疏纏繞,以降低探針對被測試物體的壓力。在檢測集成電路時,信號會從下柱栓流向上方,形成導(dǎo)電路徑。
垂直探針可以對應(yīng)高密度信號觸點的待測半導(dǎo)體產(chǎn)品的細間距排列,針尖接觸待測半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的縱向位移可以通過針體本身的彈性變形來提供。懸臂探針為探針部提供適當?shù)目v向位移,用于通過橫向懸臂接觸待測半導(dǎo)體產(chǎn)品,以避免探針部對待測半導(dǎo)體產(chǎn)品施加過大的針壓。
探針是半導(dǎo)體試驗所需的重要耗材。通過與試驗機、分揀機、探針臺配合使用,可以篩選出產(chǎn)品設(shè)計缺陷和制造缺陷,用于設(shè)計驗證、晶圓試驗和成品試驗。它在確保產(chǎn)品產(chǎn)量、控制成本、指導(dǎo)芯片設(shè)計和工藝改進方面發(fā)揮著重要作用。
物理處理主要包括粉碎和篩分。,廢料被送入粉碎機進行粉碎,使其變?yōu)檩^小的顆粒。然后,顆粒通過篩網(wǎng)進行分級,分離出不同粒度的廢料。
化學(xué)處理是提取金屬價值的關(guān)鍵步驟。一種常用的方法是浸出法。廢料顆粒被置于酸性溶液中,稀釋酸可以溶解鍍金探針中的金屬。然后,通過化學(xué)反應(yīng)和沉淀,將金屬分離出來。