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進(jìn)一步為了避免下驅(qū)動(dòng)裝置受到外界震動(dòng)的影響，進(jìn)而保下驅(qū)動(dòng)裝置的工作精，所述底座和下驅(qū)動(dòng)裝置之間設(shè)置有減震裝置，所述下驅(qū)動(dòng)裝置的底端設(shè)置有承載板，所述承載板通過少兩個(gè)螺釘固定連接在底座上，所訴減震裝置包括與螺釘分別一一對(duì)應(yīng)的下減震橡膠墊和上減震橡膠墊，所述下減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)南露瞬?，所述下減震橡膠墊的底部和底座抵接，所述下減震橡膠墊的頂部和承載板抵接，以便于通過下橡膠減震墊吸收從外界傳來的震動(dòng)，以避免下驅(qū)動(dòng)裝置受到外界震動(dòng)的影響，所述上減震橡膠墊套裝在螺釘?shù)纳隙瞬?，且所述上減震橡膠墊與承載板的上端面壓接，以避免螺釘?shù)恼饎?dòng)影響到承載板。

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單晶爐熱場(chǎng)的設(shè)計(jì)與仿真單晶直徑在生長(zhǎng)過程中可受到溫度，提拉速度與轉(zhuǎn)速，坩堝跟蹤速度與轉(zhuǎn)速，保護(hù)氣體的流速等因素的影響。其中溫度主要決定能否成晶，而速度將直接影響到晶體的內(nèi)在質(zhì)量，而這種影響卻只能在單晶拉出后通過檢測(cè)才能獲知。溫度分布合適的熱場(chǎng)，不僅單晶生長(zhǎng)順利，而且品質(zhì)較高；如果熱場(chǎng)的溫度分布不是很合理,生長(zhǎng)單晶的過程中容易產(chǎn)生各種缺陷,影響質(zhì)量，情況嚴(yán)重的出現(xiàn)變晶現(xiàn)象生長(zhǎng)不出來單晶。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，所述加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置包括升降絲桿91、拖板92和絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，底座1上設(shè)置有立柱10，所述升降絲桿91可旋轉(zhuǎn)地支承在立柱10上，所述拖板92通過螺紋連接在升降絲桿91上，所述加料器旋臂8連接在拖板92上，所述升降絲桿91連接在絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置上，以便通過絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)升降絲桿91旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而將升降絲桿91的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為加料器旋臂8的升降運(yùn)動(dòng)。具體地，所述絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括升降電機(jī)93和減速機(jī)94，所述減速機(jī)94連接在升降電機(jī)93的輸出軸上，所述升降絲桿91連接在減速機(jī)94的輸出軸上。