探針一般由精密儀器鉚接預(yù)壓后形成,針頭、針尾、彈簧、外管四個(gè)基本部件。
由于半導(dǎo)體產(chǎn)品體積小,特別是芯片產(chǎn)品尺寸非常小,探針尺寸要求達(dá)到微米級。它是一種精密電子元器件,具有較高的制造技術(shù)含量。
在晶圓或芯片測試的過程中,通常會使用探針來準(zhǔn)確連接晶圓或芯片的引腳或錫球與測試機(jī),以便檢測產(chǎn)品的導(dǎo)通性、電流性、功能性和老化性等性能指標(biāo)。
探針是半導(dǎo)體試驗(yàn)所需的重要耗材。通過與試驗(yàn)機(jī)、分揀機(jī)、探針臺配合使用,可以篩選出產(chǎn)品設(shè)計(jì)缺陷和制造缺陷,用于設(shè)計(jì)驗(yàn)證、晶圓試驗(yàn)和成品試驗(yàn)。它在確保產(chǎn)品產(chǎn)量、控制成本、指導(dǎo)芯片設(shè)計(jì)和工藝改進(jìn)方面發(fā)揮著重要作用。
探針的要求
(1)質(zhì)量問題:在使用過程中應(yīng)定期進(jìn)行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會導(dǎo)致測量誤差增大,嚴(yán)重時(shí)可能會損壞實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
(2)加工工藝問題:在探針的制作過程中,要探針的形狀、尺寸的與穩(wěn)定。
(3)使用注意事項(xiàng):避免在測量過程中引入空氣,勿使用有陷進(jìn)、連續(xù)的探針以免擾動測量,對于使用多個(gè)探針進(jìn)行測量的情況要確保探針之間的長度和間距足夠。
(4)存儲和保養(yǎng)問題:盡可能地存儲環(huán)境無除塵、避光性好;探針表面不能有刮傷等損壞,使用前應(yīng)清洗干凈且消毒處理。
在收集到的鍍金探針廢料中,可能包含其他金屬和非金屬雜質(zhì)。因此,分揀是必要的步驟,以便將廢料分類和分離。分揀可以通過人工或自動化設(shè)備進(jìn)行。人工分揀需要經(jīng)過培訓(xùn)的工作人員,他們根據(jù)廢料的類型和特征進(jìn)行分類。自動化設(shè)備可以通過傳感器和圖像識別技術(shù)自動分揀廢料。
物理處理主要包括粉碎和篩分。,廢料被送入粉碎機(jī)進(jìn)行粉碎,使其變?yōu)檩^小的顆粒。然后,顆粒通過篩網(wǎng)進(jìn)行分級,分離出不同粒度的廢料。
化學(xué)處理是提取金屬價(jià)值的關(guān)鍵步驟。一種常用的方法是浸出法。廢料顆粒被置于酸性溶液中,稀釋酸可以溶解鍍金探針中的金屬。然后,通過化學(xué)反應(yīng)和沉淀,將金屬分離出來。