“氬雜質(zhì)含量檢測(cè)”通常是指在工業(yè)或科研中對(duì)氬氣（Ar）中其他氣體雜質(zhì)的檢測(cè)分析。氬氣是一種惰性氣體，常用于焊接、半導(dǎo)體制造、照明、激光技術(shù)等領(lǐng)域。由于其高純度要求，因此需要對(duì)其中存在的雜質(zhì)進(jìn)行 檢測(cè)。 以下是一些常見的氬雜質(zhì)檢測(cè)方法和相關(guān)內(nèi)容： 一、常見雜質(zhì)種類 在高純氬氣中，常見的雜質(zhì)包括： | 雜質(zhì)氣體 | 含量單位 | 檢測(cè)意義 | | | | | | 氧（O?） | ppm（百萬分之一） | 影響焊接質(zhì)量、半導(dǎo)體工藝 | | 氮（N?） | ppm | 影響光譜分析結(jié)果 | | 氫（H?） | ppm | 高濃度時(shí)具有爆炸風(fēng)險(xiǎn) | | 二氧化碳（CO?） | ppm | 腐蝕設(shè)備 | | 水蒸氣（H?O） | ppm 或 ppb | 影響真空系統(tǒng)和化學(xué)反應(yīng) | | 氦（He） | ppm | 是混合氣中的成分 | | 甲 （CH?） | ppm | 來自污染源 | 二、檢測(cè)方法

1. 氣相色譜法（GC） 原理：利用不同氣體在色譜柱中的保留時(shí)間差異進(jìn)行分離和定量。 優(yōu)點(diǎn)：靈敏度高，可檢測(cè)ppm級(jí)雜質(zhì)。 應(yīng)用：廣泛用于高純氣體分析。

2. 2. 質(zhì)譜法（MS） 原理：將氣體分子電離后根據(jù)質(zhì)荷比進(jìn)行分析。 優(yōu)點(diǎn)：可同時(shí)檢測(cè)多種雜質(zhì)，分辨率高。 應(yīng)用：適合痕量雜質(zhì)分析（ppb級(jí)）。

3. 3. 紅外吸收光譜法（IR） 原理：利用特定氣體對(duì)紅外光的吸收特性進(jìn)行檢測(cè)。 優(yōu)點(diǎn)：非破壞性，適合在線監(jiān)測(cè)。 應(yīng)用：檢測(cè)CO?、H?O等。

4. 4. 電化學(xué)傳感器 原理：通過氣體與電極發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)生電流信號(hào)。 優(yōu)點(diǎn)：響應(yīng)快，成本低。 應(yīng)用：檢測(cè)O?、H?等。