在相聯(lián)通的真空系統(tǒng)中，如果某一處存在有揮發(fā)性較強(qiáng)的固體或流體，那么此處就相當(dāng)于系統(tǒng)中的一個放氣源，使該物質(zhì)在系統(tǒng)中的壓力始終為對應(yīng)溫度下的飽和蒸汽壓，這常常會限制系統(tǒng)極限真空度的提高。物質(zhì)的飽和蒸汽壓與溫度的關(guān)系常用Antoine方程計(jì)算，公式簡潔，準(zhǔn)確性高，但溫度適應(yīng)范圍窄。水的飽和蒸汽壓計(jì)算還有Keenan和Keyes經(jīng)驗(yàn)公式，在35攝氏度下準(zhǔn)確性很高，但計(jì)算較繁。有些用戶在使用氣海牌微型真空水泵（高溫介質(zhì)型）時，水溫較低時吸程、揚(yáng)程夠用，無水可抽時不怕長時間干轉(zhuǎn)，性能特別穩(wěn)定，泵壽命也是國內(nèi)。