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結束語/在工業(yè)中使用除塵器收集灰塵已經有了上的歷史，但是，到目前為止，還沒有一種不論在什么條件下都能夠圓滿解決問題的除塵器。因此，要根據不同的具體情況選擇設計適用的除塵設備。對塵埃問題，世界各真空設備都有各種性能要求和規(guī)格的除塵器、過濾器供用戶選擇。國內還沒有生產性能規(guī)格的除塵器、過濾器的工廠，大都由用戶自行設計加工。設計人員掌握除塵技術的基本知識，考慮許多技術經濟因素才能滿足實際應用的要求。

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單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)的設計與分析1　引　言半導體材料是半導體工業(yè)的基礎材料 ,其中用量和用途廣泛的是半導體硅。當今 95%以上的半導體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路 ,生產集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結晶生長開始時 ,用提拉的辦法制成的。在單晶硅生產過程中 ,對晶體的提拉速度有十分嚴格的要求 ,從某種程度上講提拉速度的控制好壞將直接影響到晶體的質量。對單晶硅生產過程中的提拉速度控制系統(tǒng)進行研究有實際意義。圖 1示出了單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)在單晶硅生產中的作用。提拉桿的運動是靠驅動電機通過減速器 ,再由齒輪齒條機構帶動的。在單晶爐中 ,要求提拉單晶硅的提拉桿不僅能以某一期望線速度 V向上 (下 )運動 ,而且當提拉負載增大引起線速度為零時 ,提拉桿能保持其后位置而不上下滑動。在實際單晶爐中 ,對提拉控制系統(tǒng)提出的主要技術指標是 ,提拉速度在 0 .2～ 1 0 .0 mm/h范圍之內實現無級可調 ,線性精度大于± 2 %分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，基于ANSYS軟軸型單晶爐提拉系統(tǒng)晃動分析\人工晶體是太陽能光伏發(fā)電產業(yè)和半導體行業(yè)發(fā)展所需的核心原材料,單晶爐是制造人工晶體的設備,目前的單晶爐大部分采用軟軸提拉系統(tǒng)。由于受到液/固相變規(guī)律的制約,單晶爐在實際工作中要求提拉機構既要做旋轉運動,又要做上升運動,同時還要保持速度穩(wěn)定,對中性好,不能出現蠕動和擺動。提拉系統(tǒng)的晃動會引起生長瞬間微觀擴散層的變化,造成有效分凝系數的變動,導致微觀摻雜劑濃度分布的徑向不均勻,引起對流情況不穩(wěn)定,導致生長時固液界面過冷度的變化,為枝晶生長提供條件[1],會嚴重地影響單晶體的內在品質。