多功用磁控濺射鍍膜系統(tǒng)，由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完結(jié)薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進(jìn)行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè)。蒸騰鍍膜與手套箱組合，實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測(cè)驗(yàn)等工藝全封閉制造，使整個(gè)薄膜生長(zhǎng)和器材制備過程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氣氛的系統(tǒng)中，消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高功用、大面積有機(jī)光電器材和電路的制備。

定期保養(yǎng)，有人會(huì)問常規(guī)保養(yǎng)和定期保養(yǎng)的區(qū)別?事實(shí)上，每個(gè)設(shè)備都有使用壽命。例如，用于擴(kuò)散泵的硅油具有大約兩年的使用壽命。我們?cè)琰c(diǎn)換掉它。這是浪費(fèi)嗎?不，在生產(chǎn)中，設(shè)備故障是不可能發(fā)生的事情。做好日常維護(hù)和定期保養(yǎng)，不僅可以延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命，還可以減少運(yùn)行故障，提高生產(chǎn)效率。

檢查泄漏情況是真空鍍鈦機(jī)真空度的一種檢查方法，簡(jiǎn)稱檢漏。真空的凹凸度直接影響鍍膜的作用，因此檢漏是的。通常情況下，真空室的漏氣是由腔壁上的一些孔或元件前的薄接頭引起的。抽氣系統(tǒng)抽氣時(shí)，真空室內(nèi)壓力降低。內(nèi)外壓差使氣體從外部高壓流向低壓真空室，造成真空度降低。