穩(wěn)定劑在拋光液中起到穩(wěn)定和調節(jié)pH值的作用。它能夠防止氧化鋁微粒在拋光過程中團聚和沉積,保持拋光液的均勻性和穩(wěn)定性。同時,穩(wěn)定劑還能調節(jié)拋光液的酸堿度,以適應不同材料的拋光需求。
在使用氧化鋁拋光液時,需要注意以下幾點:
1. 選擇適合的顆粒大小和穩(wěn)定劑類型,根據(jù)需要進行調配。
2. 在拋光過程中,控制拋光液的溫度、濃度和拋光時間,以避免對材料造成損傷。
3. 定期檢查拋光液的質量和穩(wěn)定性,及時更換或補充添加。
氧化鋁拋光液適用于金相和巖相研磨、拋光外,還適用于各種黑色和有色金屬、陶瓷、復合材料以及寶石、儀表、光學玻璃等產品的高光潔度表面的研磨及拋光。極細的磨料能夠得到需要的超精拋光平面。
化學機械拋光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)技術具有特的化學和機械相結合的效應,是在機械拋光的基礎上,根據(jù)所要拋光的表面,加入相應的化學試劑,從而達到增強拋光和選擇性拋光的效果?;瘜W機械拋光液的性能是影響化學機械拋光質量和拋光效率的關鍵因素之一。拋光液一般包含氧化劑、絡合劑、表面活性劑、磨料、pH調節(jié)劑、腐蝕抑制劑等成分,各種添加劑的選擇和含量對拋光效果都會產生很大的影響。
納米氧化鋁拋光液具有移除速率高、懸浮分散性能好、對碳化硅晶圓表面無損傷、且表面粗糙度值極低、循環(huán)使用壽命長、易清洗、通用性好等特點,適用于半導體碳化硅晶圓的CMP拋光。
氧化鋁拋光液是一種應用在金相拋光中的磨料。其實,它的作用還遠不止于此。它還可以去除樣品表面肉眼不可見的表面變形層,尤其是使用高倍物鏡、偏振光、微分干涉或EBSD 技術檢測或是評定樣品時。對于一些做鑄鐵、鋼、不銹鋼、銅、聚合物、礦物質、微電子、貴金屬等金相樣品制備的實驗室來說,氧化鋁拋光液是的一種磨料。