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ULVAC愛發(fā)科CRYO-U10H用2段式低溫真空泵2025年3月27日9:1更新

更新時(shí)間:2025-03-27 [舉報(bào)]
ULVAC愛發(fā)科 CRYO-U10H 用2段式GM冷凍機(jī)的 低溫真空泵
ULVAC愛發(fā)科 CRYO-U10H 用2段式GM冷凍機(jī)的 低溫真空泵
ULVAC愛發(fā)科 CRYO-U10H 用2段式GM冷凍機(jī)的 低溫真空泵
CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。
根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同,從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。
特點(diǎn)
適合濺射應(yīng)用。
氬氣容量是現(xiàn)有型號(hào)(U10H)的2倍。
再生時(shí)間間隔延長意味著更高的可用性。
可以進(jìn)行多個(gè)連接(多3個(gè))。
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
排氣速度(20℃) 氮 L/s 2,400
氫 3,600
氬 2,000
水 6,900
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
大流量 氬 Pa?L/s(Torr?L/s) 1.30×103(9.8)
排氣容量 氬 Pa?L(Torr?L) 2.0×108(1.5×106)
氫 1.2×106(9.0×103)
冷卻下降時(shí)間
(動(dòng)力循環(huán)) min(Hz) 120/110(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-250,10BANSI
壓縮機(jī)組 C15R
重量 Kg 36.0
*維護(hù)周期:16,000小時(shí)
*移動(dòng)托盤可選
標(biāo)簽:真空泵ULVAC愛發(fā)科
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