Gemini 物鏡的設(shè)計(jì)結(jié)合了靜電場(chǎng)與磁場(chǎng)， 在提升光學(xué)性能的同時(shí)將它們對(duì)樣品的影 響降至低。因此，即便是要求苛刻的樣 品 —— 如磁性材料，也能進(jìn)行成像。 在 Gemini 鏡筒設(shè)計(jì)理念中， Inlens 用二次 電子( SE ) 和背散射電子( BSE ) 探測(cè)器來(lái) 確保的信號(hào)檢測(cè)。

Inlens 探測(cè)器均放置 在鏡筒內(nèi)正光軸上， 在減少重新校準(zhǔn)耗時(shí) 的同時(shí)有效地縮短了獲取圖像的時(shí)間。 Gemini 電子束推進(jìn)器技術(shù)可以在非常 低的加速電壓下仍獲得小束斑和高信噪比。
此外， 它確保了電子束在鏡筒中運(yùn)動(dòng)時(shí)始 終保持高加速電壓， 直至出鏡筒后才減速 至設(shè)定電壓， 更大程度地減小外部雜散磁 場(chǎng)對(duì)系統(tǒng)靈敏度的影響。GeminiSEM 360 、 GeminiSEM 460 和 GeminiSEM 560 三 者 均 應(yīng)用了 Gemini 設(shè)計(jì)、 Inlens 探測(cè)器和電子 束推進(jìn)器技術(shù)。

分辨率模式
在高分辨率電子槍模式下， 電子束色差降低， 從而實(shí)現(xiàn)更小的束斑。
在樣品臺(tái)減速技術(shù)模式下， 為樣品施加減 速電壓。該減速電壓可進(jìn)一步提高 1 kV 以 下的圖像分辨率并增強(qiáng)背散射探測(cè)器的檢 測(cè)效率。