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德國CGS GmbH/德國Crystal Growing Systems (CGS) GmbH成立于1999年8月，其前身為德國萊寶晶體生長部。目前其產(chǎn)品已經(jīng)覆蓋生產(chǎn)6”到16”單晶硅棒的設(shè)備，設(shè)備主要有EKZ2700、 EKZ 3500/200、EKZ 3000/300，EKZ 3000/400型，投料量分別為60kg、150kg、300kg，400kg。EKZ-2700 EKZ3500/200 EKZ3000/300 EKZ3000/40 德國CGS單晶爐圖（來自產(chǎn)品樣本）近年來，國產(chǎn)單晶硅生長爐設(shè)備行業(yè)發(fā)展迅速，已經(jīng)占據(jù)絕大部分的份額。，國內(nèi)單晶硅生長爐設(shè)備領(lǐng)域技術(shù)進步明顯，逐步解決了單晶硅生長爐的關(guān)鍵技術(shù)難題，可以滿足太陽能光伏晶體硅制備的需求。

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除塵機理示、擴散當(dāng)含塵氣流中的粉塵顆粒粒徑小于1Lm 以下,特別小于0.1Lm 時，這些顆粒在隨氣流運動時不再沿著氣體流線繞流捕集物，因而也再不能遵循慣性碰撞或接觸阻留的機理被捕集物所捕集分離，而另一捕集機理——擴散在起作用。由于氣體分子之間的熱運動而產(chǎn)生的不規(guī)則運動，使氣體分子之間的熱運動而產(chǎn)生的不規(guī)則運動，使氣體分子轟擊著粉塵顆粒而使顆粒作擴散，可以使粉塵顆粒均勻地分布于整個氣體空間。真空技術(shù)網(wǎng)(認為如果有一物體置于氣體之中，一些超微顆粒通過擴散而沉降在這物體的表面上，從而使這些超微顆粒從氣體中捕集分離、靜電力懸浮在氣流中的塵粒，如帶有一定的電荷，可以通過靜電力使它從氣流中分離。由于自然狀態(tài)下，塵粒的荷電量很小，因此，要得到較好的除塵效果，設(shè)置的高壓電場，使所有的塵粒都充分荷電。凝聚凝聚作用不是一種直接的除塵機理。通過超聲波、蒸汽凝結(jié)、加濕等凝聚作用，可以使微小粒子凝聚增大，然后再用一般的除塵方法去除。我們設(shè)計除塵器時要根據(jù)不同的具體情況，考慮一定的需要，采用某種除塵機理或者是幾種除塵機理的綜合運用。表1 列出幾種除塵機理的除塵情況供為參考。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，基于ANSYS軟軸型單晶爐提拉系統(tǒng)晃動分析\人工晶體是太陽能光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展所需的核心原材料,單晶爐是制造人工晶體的設(shè)備,目前的單晶爐大部分采用軟軸提拉系統(tǒng)。由于受到液/固相變規(guī)律的制約,單晶爐在實際工作中要求提拉機構(gòu)既要做旋轉(zhuǎn)運動,又要做上升運動,同時還要保持速度穩(wěn)定,對中性好,不能出現(xiàn)蠕動和擺動。提拉系統(tǒng)的晃動會引起生長瞬間微觀擴散層的變化,造成有效分凝系數(shù)的變動,導(dǎo)致微觀摻雜劑濃度分布的徑向不均勻,引起對流情況不穩(wěn)定,導(dǎo)致生長時固液界面過冷度的變化,為枝晶生長提供條件[1],會嚴(yán)重地影響單晶體的內(nèi)在品質(zhì)。