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所述加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置包括升降絲桿91、拖板92和絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，底座1上設(shè)置有立柱10，所述升降絲桿91可旋轉(zhuǎn)地支承在立柱10上，所述拖板92通過螺紋連接在升降絲桿91上，所述加料器旋臂8連接在拖板92上，所述升降絲桿91連接在絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置上，以便通過絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)升降絲桿91旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而將升降絲桿91的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為加料器旋臂8的升降運(yùn)動(dòng)。具體地，所述絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括升降電機(jī)93和減速機(jī)94，所述減速機(jī)94連接在升降電機(jī)93的輸出軸上，所述升降絲桿91連接在減速機(jī)94的輸出軸上。

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全自動(dòng)控制系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，維護(hù)方便，可靠性高，抗干擾性好。雙攝像頭實(shí)時(shí)采集晶體直徑信息。液面測(cè)溫確保下籽晶溫度和可重復(fù)性。爐內(nèi)溫度或加熱功率控制方式可選，?？販鼐?。質(zhì)量流量計(jì)控制流量。真空計(jì)結(jié)合電動(dòng)蝶閥實(shí)時(shí)控制爐內(nèi)真空度。上稱重傳感器用于晶棒直徑的輔助控制。伺服電機(jī)和步進(jìn)電機(jī)的混合使用，即可滿足轉(zhuǎn)動(dòng)所需的扭矩，又可實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)速的控制。質(zhì)量流量計(jì)控制流量。自主產(chǎn)權(quán)的控制軟件采用視窗平臺(tái)，操作方便簡(jiǎn)潔直觀。多種曲線和數(shù)據(jù)交叉分析工具提供了工藝實(shí)時(shí)監(jiān)控的平臺(tái)。完整的工藝設(shè)定界面使計(jì)算機(jī)可以自動(dòng)完成幾乎所有的工藝過程。加熱電源采用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統(tǒng)直流電源節(jié)能近15%。特殊的溫場(chǎng)設(shè)計(jì)使晶體提拉速度提高20-30%。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，半導(dǎo)體級(jí)直拉法的工藝控制\進(jìn)入21世紀(jì)以來,隨著新興產(chǎn)業(yè)的科技創(chuàng)新,半導(dǎo)體行業(yè)得到了的發(fā)展。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,尤其近幾年,大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),縮短該行業(yè)與世界水平的差距。目前雖然有許多新興材料來替代硅材料,但未來幾年可以預(yù)見,硅材料由于其成熟的技術(shù)品質(zhì)和穩(wěn)定的物理化學(xué)性質(zhì),將會(huì)在相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)間里是主流材料。硅單晶作為主要材料,應(yīng)用的領(lǐng)域也是相當(dāng)廣泛的。硅單晶是由多晶硅原料經(jīng)過物理變化,讓硅原子按照人為設(shè)定的方向進(jìn)行生長(zhǎng),終形成的。一般會(huì)采用直拉法進(jìn)行制備。晶圓的直徑越大,集成電路制造的成本將會(huì)越低,因此要求作為材料的硅單晶的直徑也要相應(yīng)的增大。這里面涉及到了一系列問題。這篇論文主要討論的是通過對(duì)熱場(chǎng)的設(shè)計(jì),工藝的過程控制,減少位錯(cuò)的產(chǎn)生,以及通過化學(xué)腐蝕對(duì)位錯(cuò)進(jìn)行檢測(cè)的相關(guān)問題。