對(duì)比幾個(gè)真空鍍膜機(jī)的檢漏方法:
氦質(zhì)譜檢漏該工藝是真空鍍膜機(jī)真空檢漏技術(shù)里不可缺少的一種技術(shù),因?yàn)闄z漏率,簡(jiǎn)單易使用,儀器設(shè)備反映靈敏,,不容易受別的氣體的影響,在檢漏中獲得了廣泛運(yùn)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是依據(jù)質(zhì)譜學(xué)基本原理,用氮?dú)庾魇韭怏w做成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、解析器、回收器、冷陰極水解規(guī)構(gòu)成的質(zhì)譜分析室和吸氣系統(tǒng)及電氣一部分等構(gòu)成。質(zhì)譜分析室里的鎢絲發(fā)送出去的電子,在房間內(nèi)不停地震蕩,并與房間內(nèi)空氣和經(jīng)漏孔進(jìn)入到屋內(nèi)的氦氣互相撞擊使其水解成共價(jià)鍵,這種氦離子在加快靜電場(chǎng)的作用下進(jìn)入到磁場(chǎng),因?yàn)槁鍌惼澚ψ饔卯a(chǎn)生偏轉(zhuǎn),產(chǎn)生圓弧狀軌道,更改加速電壓可使不一樣品質(zhì)的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接受縫抵達(dá)接收極而被檢驗(yàn)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在檢漏中經(jīng)常使用的這兩種方式。采用真空法檢漏,鍍膜機(jī)不需要停機(jī),直接在真空泵的旁路利用波紋管接入檢漏儀,在懷疑有漏的地方噴氦氣,即可完成檢漏。
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真空鍍膜機(jī)工作的環(huán)境要求:
真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作,因此該設(shè)備要滿(mǎn)足真空對(duì)環(huán)境的要求。真空對(duì)環(huán)境的要求,一般包括真空設(shè)備對(duì)所處實(shí)驗(yàn)室(或車(chē)間)的溫度、空氣中的微粒等周?chē)h(huán)境的要求,和對(duì)處于真空狀態(tài)或真空中的零件或表面要求兩個(gè)方面。
這兩個(gè)方面是有密切聯(lián)系的。周?chē)h(huán)境的好壞直接影響真空設(shè)備的正常使用;而真空設(shè)備的真空室或裝入里面的零件是否清洗,又直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵,在真空室沒(méi)有經(jīng)過(guò)清洗的情況下用油封機(jī)械泵去抽氣,要達(dá)到預(yù)期的真空度很難的。眾所周,油封式機(jī)械泵不宜抽除對(duì)金屬有腐蝕性、對(duì)真空油其反應(yīng)的以含有顆粒塵埃的氣體。水蒸氣為可凝性氣體,當(dāng)大量抽除可凝性氣體時(shí),對(duì)泵油的污染會(huì)更加嚴(yán)重,結(jié)果使泵的極限真空下降,破壞了泵的抽氣性能。
長(zhǎng)期回收真空鍍膜機(jī)鍍膜生產(chǎn)線設(shè)備。
如何處理真空鍍膜的灰塵呢
1、設(shè)備使用的源材料要符合必要的純度要求。
2、設(shè)備樣品取出后要注意放置環(huán)境的清潔問(wèn)題。
3、真空鍍膜一段時(shí)間后,真空室內(nèi)壁要清潔處理。
4、真空鍍膜清洗襯底材料,要做到嚴(yán)格合乎工藝要求。
5、真空鍍膜適當(dāng)?shù)脑黾迎h(huán)境的濕度,有利于降低周?chē)h(huán)境的懸浮固體顆粒物。
6、工作人員在操作時(shí)需要戴手套、腳套等,要有的服裝。
由于灰塵對(duì)鍍膜效果會(huì)產(chǎn)生比較大的影響,因此為了避免在真空鍍膜設(shè)備中留下灰塵,應(yīng)該在使用中注意以上幾點(diǎn)來(lái)盡量避免,除此也要注意經(jīng)常清洗,避免灰塵越積越多。
真空鍍膜工藝在傳感器方面的運(yùn)用在傳感器中,多選用那些電氣性質(zhì)相關(guān)于物理量、化學(xué)量及其變化來(lái)說(shuō),極為敏感的半導(dǎo)體資料。此外,其中大多數(shù)運(yùn)用的是半導(dǎo)體的外表、界面的性質(zhì),需求盡量增大其面積,且能工業(yè)化、低報(bào)價(jià)制造、因而選用薄膜的狀況許多。
真空鍍膜機(jī)工藝在光學(xué)儀器中的運(yùn)用大家了解的光學(xué)儀器有望遠(yuǎn)鏡、顯微鏡、照相機(jī)、測(cè)距儀,以及平時(shí)生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等,它們都離不開(kāi)鍍膜技能,鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。
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