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在本實施例中，所述副爐室升降驅動裝置12的結構和加料器升降驅動裝置的結構一致，所述副爐室旋轉驅動裝置13的結構和加料器旋轉驅動裝置的結構也一致。為了防止在副爐室3移動到取晶位的過程中，因晶棒掉落而出現事故，連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室3移動到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動接晶托，所述電動接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板153、電動推桿152、接晶托電機154和固定管151，所述電動推桿152連接在副爐室旋臂14上，所述提升桿連接在電動推桿152的推桿上，以便通過推桿的升降帶動提升桿升降，所述接晶托電機154連接在提升桿上，所述托板153連接在接晶托電機154的輸出軸上，以便通過接晶托電機154驅動托板153旋轉，所述固定管151套裝在提升桿和電動推桿152的推桿的外側，所述固定管151連接在副爐室旋臂14上。

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權利要求1、一種直拉式單晶生長爐，包括設于該爐頂部并伸入爐內的輸入管(12)、與輸入管(12)相連通的環(huán)形氣體分布器(11)；其特征在于經輸入管(12)輸入的氣壓為0.8×10a0.9×10a，流量為30L/min。2、 根據權利要求1所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于還包括 設于該爐的坩堝支持器(14)下方和該爐底部的排氣口 (13)之間的氣流 導向裝置(20);該氣流導向裝置(20)為碗形，其包括設于氣流導向裝 置(20)底部的中軸孔(2-1)、設于所述中軸孔(2-1)兩側的一對電 極孔(2-2)、以及設于所述中軸孔(2-1)兩側并與該爐的排氣口 (13)相 對的通氣孔(2-3);該爐的石墨中軸(21)分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，權利要求1、一種直拉式單晶生長爐，包括設于該爐頂部并伸入爐內的輸入管(12)、與輸入管(12)相連通的環(huán)形氣體分布器(11)；其特征在于經輸入管(12)輸入的氣壓為0.8×10a0.9×10a，流量為30L/min。2、 根據權利要求1所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于還包括 設于該爐的坩堝支持器(14)下方和該爐底部的排氣口 (13)之間的氣流 導向裝置(20);該氣流導向裝置(20)為碗形，其包括設于氣流導向裝 置(20)底部的中軸孔(2-1)、設于所述中軸孔(2-1)兩側的一對電 極孔(2-2)、以及設于所述中軸孔(2-1)兩側并與該爐的排氣口 (13)相 對的通氣孔(2-3);該爐的石墨中軸(21)