GB/T 18867 2014《電子級六氟化硫》是中國國家標準，用于規(guī)定電子級六氟化硫（SF?）氣體的質量要求和檢測方法。該標準適用于以高純六氟化硫為主要成分的電子工業(yè)用氣體，主要用于半導體制造、液晶顯示等領域。 根據(jù)該標準，電子級六氟化硫的全組分分析通常包括以下檢測項目： ### 

1.    主要成分     六氟化硫（SF?） ### 

2. 2.   雜質氣體   標準中對一些常見的雜質氣體進行了限制和檢測，主要包括：   空氣（N? + O?）   水（H?O）      （H?S）       （SO?）   四氟化碳（CF?）   氮氣（N?）   氧氣（O?）       （CO）   二氧化碳（CO?）   氫氣（H?）   氬氣（Ar） ### 

3. 3.   純度指標     SF? 的純度通常需要達到 99.999% 或更高。   雜質氣體的含量需要符合特定的限值要求。 ### 

4. 4.   水分含量     水分含量通常需要控制在極低水平，例如 ppm 或 ppb 級別。 ### 

5. 5.   毒性氣體檢測     檢測可能存在的有毒氣體，如 H?S 和 SO?。 ### 

6. 6.   物理性能     密度   沸點   熔點 ### 

7. 7.   其他檢測項目     可能還包括對其他痕量雜質的檢測，具體取決于應用需求和標準的要求。 ### 分析方法 這些檢測項目通常通過以下方法進行：     色譜法  ：如氣相色譜法（GC）或液相色譜法（HPLC），用于檢測氣體組分。     質譜法  ：如氣相色譜 質譜聯(lián)用（GC MS），用于更  地定性和定量分析。     光譜法  ：如紅外光譜法，用于檢測某些特定氣體。     電化學傳感器  ：用于檢測某些特定氣體（如水分、氧氣等）。 這些檢測項目的具體限值和要求可能會因具體的應用場景和技術要求而有所不同。因此，在實際操作中，應參照 GB/T 18867 2014 標準的具體條款進行詳細分析和檢測。