在鍍膜領(lǐng)域,鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜功用的一個(gè)重要因素。因此,當(dāng)點(diǎn)評(píng)某薄膜樣品的功用時(shí),需求檢測(cè)該薄膜樣品不同厚度下的功用。對(duì)于真空鍍膜的情形,這往往需求進(jìn)行多次試樣的制備。而這樣多次制備樣品存在兩個(gè)問題:,不同次生長(zhǎng)的樣品,儀器的狀況不同,以至于影響薄膜樣品功用的因素可能不僅僅是厚度;其次,真空鍍膜試驗(yàn)裝取樣品需求重新進(jìn)行真空的獲得,十分耗時(shí)。增加了出產(chǎn)和檢測(cè)的本錢。
真空是支撐真空鍍膜機(jī)運(yùn)行的環(huán)境,尤其是需要高真空度的設(shè)備。通常,我們需要達(dá)到高的真空度,而抽氣系統(tǒng)的功能是不可缺少的。但是除了抽氣系統(tǒng)之外,真空鍍膜設(shè)備的操作還有一點(diǎn),就是工件的脫氣。有些工件內(nèi)部有大量氣體和水分,在設(shè)備加熱時(shí)會(huì)排入真空室,降低真空度。更有甚者,有些氣體含有有毒成分,直接破壞真空室內(nèi)部機(jī)械結(jié)構(gòu),導(dǎo)致設(shè)備無法正常運(yùn)行。
在鍍膜的過程中,由于工件內(nèi)氣體的受熱膨脹,很容易使已經(jīng)鍍膜的薄膜開裂。當(dāng)然,這種情況的概率取決于工件本身的物理性質(zhì)。比如容易膨脹的,比如塑料,概率就比較高,而對(duì)于堅(jiān)硬的材料,比如金屬,概率就比較低,但也不能忽略。因此,工件的除氣是非常必要的。