可彈性探針是一個(gè)由螺旋彈簧組成的探針，其兩端連接在上下柱栓上。螺旋彈簧的中間部分緊密纏繞在一起，以防止產(chǎn)生額外的電感和附件電阻。而彈簧的兩端部分則被稀疏纏繞，以降低探針對(duì)被測(cè)試物體的壓力。在檢測(cè)集成電路時(shí)，信號(hào)會(huì)從下柱栓流向上方，形成導(dǎo)電路徑。

探針是半導(dǎo)體試驗(yàn)所需的重要耗材。通過(guò)與試驗(yàn)機(jī)、分揀機(jī)、探針臺(tái)配合使用，可以篩選出產(chǎn)品設(shè)計(jì)缺陷和制造缺陷，用于設(shè)計(jì)驗(yàn)證、晶圓試驗(yàn)和成品試驗(yàn)。它在確保產(chǎn)品產(chǎn)量、控制成本、指導(dǎo)芯片設(shè)計(jì)和工藝改進(jìn)方面發(fā)揮著重要作用。

探針的要求

（1）質(zhì)量問(wèn)題：在使用過(guò)程中應(yīng)定期進(jìn)行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會(huì)導(dǎo)致測(cè)量誤差增大，嚴(yán)重時(shí)可能會(huì)損壞實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

（2）加工工藝問(wèn)題：在探針的制作過(guò)程中，要探針的形狀、尺寸的與穩(wěn)定。

（3）使用注意事項(xiàng)：避免在測(cè)量過(guò)程中引入空氣，勿使用有陷進(jìn)、連續(xù)的探針以免擾動(dòng)測(cè)量，對(duì)于使用多個(gè)探針進(jìn)行測(cè)量的情況要確保探針之間的長(zhǎng)度和間距足夠。

（4）存儲(chǔ)和保養(yǎng)問(wèn)題：盡可能地存儲(chǔ)環(huán)境無(wú)除塵、避光性好；探針表面不能有刮傷等損壞，使用前應(yīng)清洗干凈且消毒處理。