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單晶爐晶體提拉系統(tǒng)平衡研究\提拉法單晶爐是晶體生長設(shè)備中重要的產(chǎn)品系列之一,用此方法單晶生長速度,晶體尺寸,晶體質(zhì)量,易實現(xiàn)自動控制,因此獲得了廣泛的應(yīng)用。而此方法生產(chǎn)單晶的主要因素取決于單晶提拉過程的平穩(wěn)性,因此提拉系統(tǒng)良好的平穩(wěn)性是提高單晶爐設(shè)備性能和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。以良好的平穩(wěn)性為目標(biāo),本文對單晶爐提拉系統(tǒng)進(jìn)行了系統(tǒng)平衡方面的研究。本文介紹了單晶爐提拉系統(tǒng)的功能、結(jié)構(gòu)特點以及工作原理；討論了單晶爐提拉系統(tǒng)靜平衡與動平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系統(tǒng)完全平衡的條件,以及提拉系統(tǒng)不平衡校正的方法。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，具體實施方式、本實施例的直拉式單晶生長爐包括輸入管12、與氬 氣輸入管12相連通的環(huán)形氣體分布器11;其特征在于經(jīng)輸入管12 輸入的氣壓為0. 8 x 10a0. 9 x 10a,流量為30L/min。還包括設(shè)于該爐的坩堝支持器14下方和該爐底部的排氣口 13之間 的碗形的氣流導(dǎo)向裝置20;其包括設(shè)于氣流導(dǎo)向裝置20底部的中軸 孔2-l、設(shè)于所述中軸孔2-1兩側(cè)的一對電極孔2-2、以及設(shè)于所述中軸孔 2-1兩側(cè)并與該爐的排氣口 13相對的通氣孔2-3;該爐的石墨中軸21穿過所述氣流導(dǎo)向裝置20的中軸孔2-1，該爐的一對電極柱15分別穿過所述電 極孔2-2，該爐的排氣口 13與氣流導(dǎo)向裝置20的各通氣孔2-3相連通，氣 流導(dǎo)向裝置20的上端部2-4設(shè)于該爐的保溫筒17與發(fā)熱體16之間。