嘉定渦旋高真空泵回收 嘉定直拉式單晶爐回收
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提拉頭：主要由安裝盤 減速機(jī) 籽晶腔 劃線環(huán) 電機(jī) 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成\副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成\ 爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗 抽真空管道 組成\爐筒：包括取光孔\下爐筒：包括抽真空管道\底座機(jī)架：全鑄鐵機(jī)架和底座\坩堝下傳動(dòng)裝置：主要由磁流體 電機(jī) 坩堝支撐軸 減速機(jī) 軟波紋管 立柱 上下傳動(dòng)支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成\分水器已經(jīng)水路布置：包括分水器，進(jìn)水水管，若干膠管 水管卡套等\管道布置：質(zhì)量流量計(jì) 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個(gè)壓力探測(cè)器 高密封性卡套 等部件\ 真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等\電源以及電控柜：電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線藍(lán)寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，穿過所疼氣流導(dǎo)向裝置(20) 的中軸孔(2-1)，該爐的一對(duì)電極柱(15)分別穿過所述電極孔(2-2)， 該爐的排氣口 (13)與氣流導(dǎo)向裝置(20)的各通氣孔(2-3)相連通，氣 流導(dǎo)向裝置(20)的上端部(2-4)設(shè)于該爐的保溫筒(17)與發(fā)熱體(16) 之間。3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述氣流 導(dǎo)向裝置(20)的中軸孔(2-1)與該爐的石墨中軸(21)活動(dòng)密封連接。4、 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述 氣流導(dǎo)向裝置(20 )的電極孔(2-2 )分別與該爐的電極柱(15 )密封連接。5、

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一種實(shí)用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)\前言半導(dǎo)體材料是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)材料 ,在半導(dǎo)體材料中用量和用途廣的是半導(dǎo)體硅。當(dāng)今 95 %以上的半導(dǎo)體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路。生產(chǎn)集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結(jié)晶生長開始時(shí) ,用低速提拉、生長過程均速提拉的辦法制成的。提拉速度的控制性能將直接影響到晶體的質(zhì)量。當(dāng)今 ,隨著 IT產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展 ,單晶硅生產(chǎn)市場(chǎng)需求劇,研制一種滿足工藝要求、低成本的提拉速度控制系統(tǒng)具有重要的實(shí)際意義。