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工作原理如下：取出晶棒后，將硅料加入加料坩堝62，蓋上外部加料器6的上蓋63，將外部加料器6真空抽到合適壓力值時打開旋閥64，硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化，熔化后的硅料流入主爐室坩堝21，當外部化料器7中的硅料加完后，再關閉旋閥64，把外部加料器6充常壓，打開外部加料器6的上蓋63繼續(xù)加料，如此循環(huán)，進而完成外部加料、化料，本發(fā)明可實現(xiàn)連續(xù)拉晶，選用合適的主爐室坩堝21可以實現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒，可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間，進而提高生產效率；本發(fā)明可通過加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置將外部加料器6移出工作位并旋開，進而方便拆爐和清理，本發(fā)明的加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件；本發(fā)明可通過副爐室升降驅動裝置12和副爐室旋轉驅動裝置13驅動副爐室3移動，

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發(fā)明內容、本發(fā)明的目的是提供一種易于及時排出爐內的混合氣體，且可減少熱 能及消耗的直拉式單晶生長爐。實現(xiàn)本發(fā)明目的的技術方案是提供一種直拉式單晶生長爐，其包括 輸入管、與輸入管相連通的環(huán)形氣體分布器；其特征在于經氬 氣輸入管輸入的氣壓為0. 8xl0a0. 9xl0a,流量為 30L/min。上述技術方案中，還包括設于直拉式單晶生長爐的坩堝支持器下方和 該爐底部的排氣口之間的氣流導向裝置；該氣流導向裝置為碗形，其包括 設于氣流導向裝置底部的中軸孔、設于所述中軸孔兩側的 一對電極孔、 以及設于所述中軸孔兩側并與該爐的排氣口相對的通氣孔；該爐的石墨中 軸穿過所述氣流導向裝置的中軸孔，該爐的 一對電極柱分別穿過所述電極 孔，該爐的排氣口與氣流導向裝置的各通氣孔相連通，氣流導向裝置的上 端部設于該爐的保溫筒與發(fā)熱體之間。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，　真空技術在冶金、化工、輕工、食品、醫(yī)藥等領域得到了十分廣泛的應用，然而在這些領域大都存在塵埃對真空系統(tǒng)的危害問題。為保護真空系統(tǒng)或真空泵不受粉塵和固體顆粒污染和損壞，管路中需配置真空除塵器和真空過濾器。它們可保護真空閥門不被阻塞，避免閥板關閉不嚴造成漏氣，保護測量壓力的真空規(guī)管不受污損，防止泵受損而工作失常等，對真空設備的凈化和平穩(wěn)、持續(xù)工作均很重要。除塵機理及過程從氣體中捕集分離粒子的除塵機理，主要有以下幾個方面:、重力氣流中的塵粒可以依靠重力自然沉降，從氣流中進行分離。由于塵粒的沉降速度一般較小，這個機理只適用于粗大的塵粒、離心力利用機械力來捕集分離含塵氣流中的粉塵，離心力除塵裝置是其中有效的除塵裝置。它對粒徑較小塵粒的分離捕集非常有效。含塵氣流作圓周運動時，