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精密機械工業(yè)常常需對零件上用來潤滑和抗腐蝕的酯類及礦物油加以清除，通常是用化學方法，而化學清洗往往仍有殘留物。激光去酯可以將酯類及礦物油完全去除，不損傷零件表面。其污染物去除是由沖擊波完成，零件表面氧化物薄層爆炸性氣化形成了沖擊波，導致污物去除，而非機械互作用。材料去酯用于航天工業(yè)機械零件的清理。機械零件加工中的油酯去除同樣可采用激光清洗。
激光清洗系統(tǒng)還應用于核電站反應堆內管道的清洗。它采用光導纖維，將高功率激光束引入反應堆內部，直接清除放射性粉塵，清洗下來的物質清理方便。而且由于是遠距離操作，可以確保工作人員的安全。
激光清洗方法主要有4種：
①激光干洗法，即采用脈沖激光直接輻射去污；
②激光+液膜方法，即沉積一層液膜于基體表面，然后用激光輻射去污；
③激光+惰性氣體的方法，即在激光輻射的同時，用惰性氣體吹向基體表面，當污物從表面剝離后會立即被氣體吹離表面，以避免表面再次污染和氧化；
④運用激光使污垢松散后，再用非腐蝕性化學方法清洗。
常用的是前 3種方法。第4種方法僅見于石質文物的清洗中。
國際上，激光清洗技術對石質材料的應用已有十幾年的歷史。在我國，石質材料的激光清洗起步較晚。由于激光設備的投資還較為昂貴，普遍化應用還有一定難度。但是激光清洗技術具有傳統(tǒng)清洗方法無法比擬的優(yōu)點，隨著技術的不斷完善和設備的批量化生產，激光清洗技術必將在石質材料的清洗業(yè)中發(fā)揮重要的作用。
