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周期式電阻爐的分類A． 箱式爐 B． 臺車爐（分為自行式和牽引式），用作退火之用，加熱后工件隨爐冷卻 C． 井式爐 D． 罩式爐（主要用于退火，加熱罩可吊移）　E． 底升式罩式爐（罩子固定，升降底座，適用于大型爐子）F． 轉筒式爐 G． 密封箱式爐（又稱為多用爐，可進行滲碳、光潔淬火、碳氮共滲等熱處理工藝。

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美國國外以美國KAYEX為代表，生產全自動硅單晶體生長爐。KAYEX是目前世界上，進的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產品早在80年代初進入市場，已成為半導體行業(yè)使用多的品牌。該生長的硅晶體生長爐從抽真空－檢漏－熔料－引晶－放肩－等徑－收尾到關機的全過程由計算機實行全自動控制。晶體產品的完整性與均勻性好，直徑偏差在單晶全長內僅±1mm。主要產品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150，Vision300型，投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，本文從晶體生長物理基礎和流體力學的基本理論出發(fā),結合硅單晶制備過程中熱質輸運的分析,采用實驗和數(shù)值分析相結合的方法,以大直徑硅單晶制備為主要研究對象,研究熱場結構、控制參數(shù)和外加磁場對大直徑硅單晶生長的影響。通過數(shù)值分析的手段,研究了結構參數(shù)和控制參數(shù)對晶體生長特性的影響,確定了晶體制備的工藝條件;采用28inch和32inch熱場制備出400mm和45