一、樹脂簡介
杜笙TULSION MB-106UP是由核子級強(qiáng)酸型陽離子杜笙TULSION T-46及核子級強(qiáng)堿型陰離子杜笙TULSIONA-33以1:2體積比的劑量比例,預(yù)先混合的混床級離子交換樹脂,提供給須要高純水系統(tǒng)拋光用。
Tulsimer MB-115是由核子級強(qiáng)酸型陽離子Tulsimer T-46與核子級強(qiáng)堿型陰離子Tulsimer ?A-33以1:1.5體積 比預(yù)先混合好的混床級離子交換樹脂。
二、適用行業(yè)
MB-115拋光樹脂適合用于電子產(chǎn)業(yè),生產(chǎn)半導(dǎo)體及映像管產(chǎn)業(yè),實(shí)驗(yàn)室,激光,高精 儀器,醫(yī)用行業(yè)等需要超純水的行業(yè),以及核電廠等使用。
三、 1L產(chǎn)水60噸硬性要求
EDI15.2兆歐進(jìn)水,可達(dá)到60噸
半導(dǎo)體拋光樹脂是一種用于半導(dǎo)體制造過程中的材料,主要用于拋光半導(dǎo)體晶圓的表面。它能夠去除晶圓表面的缺陷、氧化層以及其他污染物,使晶圓表面變得平滑,以提高半導(dǎo)體器件的性能和可靠性。 半導(dǎo)體拋光樹脂通常由有機(jī)聚合物、磨料和添加劑組成。有機(jī)聚合物作為基礎(chǔ)材料,能夠提供樹脂的粘結(jié)性和拋光性能;磨料則起到研磨晶圓表面的作用,常見的磨料有二氧化硅、氧化鋁等;添加劑則用于調(diào)節(jié)樹脂的黏度、pH值等特性,以及提供一定的抗氧化性能。 在半導(dǎo)體制造過程中,半導(dǎo)體拋光樹脂通常通過機(jī)械拋光的方式應(yīng)用于晶圓表面。晶圓被放置在旋轉(zhuǎn)盤上,樹脂涂敷在晶圓表面,然后通過旋轉(zhuǎn)盤和拋光墊的摩擦作用,使樹脂中的磨料研磨晶圓表面,達(dá)到平滑和去除缺陷的效果。 半導(dǎo)體拋光樹脂具有良好的拋光性能、穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)和可靠的機(jī)械性能,可以滿足半導(dǎo)體制造過程中對晶圓表面質(zhì)量的要求。同時(shí),它還能夠減少晶圓表面的殘留污染物,提高半導(dǎo)體器件的性能和可靠性,因此在半導(dǎo)體制造工藝中得到了廣泛應(yīng)用。
超純水系統(tǒng)是指系統(tǒng)從原水至超純水完整產(chǎn)生的生產(chǎn)系統(tǒng)。 一般超純水系統(tǒng)是經(jīng)由多重過濾,離子交換,除氣,逆滲透,紫外線,超濾,納米率,離子吸附過濾所產(chǎn)生的超純水。
超純水初是美國科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來的水,如今超純水已在生物、醫(yī)藥、汽車等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。這種水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什么雜質(zhì),更沒有、病毒、含氯等有機(jī)物,當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素。超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度,如水的電阻率大于18MΩcm,接近于18.3MΩcm則稱為超純水。
滲透/電去離子(RO/EDI)集成膜技術(shù)是近年來迅速發(fā)展成熟,并得到大規(guī)模工業(yè)應(yīng)用的新一代超純水制造技術(shù),在國際上已逐漸成為純水技術(shù)的主流。RO/EDI的集成膜技術(shù)在電子企業(yè)用水,實(shí)驗(yàn)室純水系統(tǒng),電廠用水等方面具有特的優(yōu)勢。
Tulsimer MB-115:原裝進(jìn)口低階核子級拋光樹脂,進(jìn)水電阻率10兆歐以上出水可穩(wěn)定達(dá)到17.5兆歐,有 ,處理水量大:1L樹脂可處理60-80噸水;