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進一步為了方便外部加料器的移動、拆卸和清理,連續(xù)拉晶單晶爐還包括用于驅(qū)動外部加料器升降的加料器升降驅(qū)動裝置和用于驅(qū)動外部加料器旋轉(zhuǎn)的加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置,所述外部加料器通過加料器旋臂連接在加料器升降驅(qū)動裝置上,以便通過加料器升降驅(qū)動裝置驅(qū)動加料器旋臂升降,并通過加料器旋臂帶動外部加料器升降,所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置連接在加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋臂之間,以便加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置隨加料器旋臂一起升降,并通過加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動加料器旋臂旋轉(zhuǎn),加料器旋臂又帶動外部加料器旋轉(zhuǎn)。進一步提供了一種加料器升降驅(qū)動裝置的具體結(jié)構(gòu),所述加料器升降驅(qū)動裝置包括升降絲桿、拖板和絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置,底座上設(shè)置有立柱,所述升降絲桿可旋轉(zhuǎn)地支承在立柱上,所述拖板通過螺紋連接在升降絲桿上,所述加料器旋臂連接在拖板上,所述升降絲桿連接在絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置上,以便通過絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動升降絲桿旋轉(zhuǎn),進而將升降絲桿的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為加料器旋臂的升降運動。
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直拉硅單晶熱場加熱器設(shè)計分析\1熱場及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進行單晶生長的整個溫度場系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導(dǎo)流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導(dǎo)流系統(tǒng)包括導(dǎo)流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進行,以及晶棒的拉速和品質(zhì)。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,整個爐內(nèi)的一氧化硅與的混合氣體(包 括坩堝支持器下方的混合氣體)能通暢地排出爐外,整個爐內(nèi)不存在排氣 不暢的地方,即不存在排氣死角,既有效地防止了一氧化硅氣體對加熱器 和坩堝支持器等石墨器件的腐蝕,還可使吸附在這些石墨器件上的雜質(zhì)粉 塵減少30%以上,從而確保了該爐的使用壽命,使所述石墨器件的使用壽 命從原來的90爐次提高11G爐次以上,另外還可對硅晶體的生長過程起 到穩(wěn)定作用,使平均成品率從原來的65%提高68%以上,并可提高單晶 的內(nèi)在質(zhì)量。本發(fā)明的氣流導(dǎo)向裝置的一對通氣孔與該爐的 一對排氣口相 對設(shè)置,縮短了排氣管路,利于提高排氣效率。