氪氣（Krypton, Kr）是一種稀有氣體，廣泛應(yīng)用于照明、激光技術(shù)、航空航天、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。在這些應(yīng)用中， 氪氣的純度 至關(guān)重要，因為雜質(zhì)的存在影響設(shè)備性能或產(chǎn)品質(zhì)量。 一、氪氣純度檢測的重要性 高純氪氣 （通常要求純度≥99.999%）用于： 激光器（如Kr離子激光器） 半導(dǎo)體制造中的摻雜 精密光學(xué)器件 氣體放電燈 低純度氪氣 導(dǎo)致： 光源效率下降 設(shè)備壽命縮短 工藝不良率上升 二、常見的氪氣純度檢測方法

1. 氣相色譜法（GC） 原理 ：利用不同氣體在固定相和流動相之間的分配差異進行分離。 優(yōu)點 ： 分辨率高，可檢測ppm級雜質(zhì) 可定量分析多種雜質(zhì)（如O?、N?、CO?、H?等） 缺點 ： 需要 設(shè)備和操作 對氪氣本身不直接檢測，需通過其他組分判斷

2. 2. 質(zhì)譜分析（MS） 原理 ：將氣體分子電離后按質(zhì)荷比（m/z）分離，確定其種類和含量。 優(yōu)點 ： 靈敏度高，可檢測痕量雜質(zhì) 能夠識別未知雜質(zhì) 缺點 ： 儀器昂貴，維護復(fù)雜 需要真空環(huán)境

3. 3. 紅外光譜法（IR） 原理 ：根據(jù)氣體對特定波長紅外光的吸收強度來判斷成分。 優(yōu)點 ： 快速、非破壞性 適用于在線監(jiān)測 缺點 ： 對某些氣體（如Kr）吸收較弱 不適合檢測極微量雜質(zhì)

4. 4. 熱導(dǎo)檢測法（TCD） 原理 ：基于氣體熱導(dǎo)率的差異進行檢測。 優(yōu)點 ： 成本較低 可用于檢測氪氣中的常見雜質(zhì) 缺點 ： 靈敏度不如MS或GC 易受溫度波動影響

5. 5. 原子吸收光譜法（AAS） 原理 ：通過測量氣體中金屬元素對特定波長光的吸收程度來檢測雜質(zhì)。 適用場景 ：檢測氪氣中金屬雜質(zhì)（如Fe、Cu、Ni等） 三、氪氣純度檢測標準 | 檢測項目 | 常見標準 | 允許 大含量 | | | | | | 氪氣純度 | GB/T 17873 2017 | ≥99.999% | | 氧氣（O?） | GB/T 17873 2017 | ≤1 ppm | | 氮氣（N?） | GB/T 17873 2017 | ≤10 ppm | | 水分（H?O） | GB/T 17873 2017 | ≤10 ppm | | 總雜質(zhì) | GB/T 17873 2017 | ≤100 ppm | 四、檢測流程建議

6. 1. 采樣 ：使用惰性氣體采樣袋或不銹鋼采樣瓶采集樣品。

7. 2. 預(yù)處理 ：去除水分、油污等干擾物質(zhì)。

8. 3. 檢測 ： 使用GC或MS進行定性和定量分析。 可結(jié)合TCD或FID作為輔助檢測手段。

9. 4. 數(shù)據(jù)分析 ：對比標準值，判斷是否合格。