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發(fā)明內(nèi)容、本發(fā)明的目的是提供一種易于及時排出爐內(nèi)的混合氣體,且可減少熱 能及消耗的直拉式單晶生長爐。實現(xiàn)本發(fā)明目的的技術方案是提供一種直拉式單晶生長爐,其包括 輸入管、與輸入管相連通的環(huán)形氣體分布器;其特征在于經(jīng)氬 氣輸入管輸入的氣壓為0. 8xl0a0. 9xl0a,流量為 30L/min。上述技術方案中,還包括設于直拉式單晶生長爐的坩堝支持器下方和 該爐底部的排氣口之間的氣流導向裝置;該氣流導向裝置為碗形,其包括 設于氣流導向裝置底部的中軸孔、設于所述中軸孔兩側(cè)的 一對電極孔、 以及設于所述中軸孔兩側(cè)并與該爐的排氣口相對的通氣孔;該爐的石墨中 軸穿過所述氣流導向裝置的中軸孔,該爐的 一對電極柱分別穿過所述電極 孔,該爐的排氣口與氣流導向裝置的各通氣孔相連通,氣流導向裝置的上 端部設于該爐的保溫筒與發(fā)熱體之間。
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