北京微納光科儀器(集團(tuán))有限公司主要生產(chǎn)經(jīng)營用于微米和納米級別的精密調(diào)整光學(xué)儀器,主要系列產(chǎn)品有:直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)系列,直線電機(jī)系列,UVW相位臺(tái)系列,工業(yè)機(jī)械手系列,影像測量系列,KK模組系列,真空無磁低溫系列,PLC光分路器封裝系統(tǒng),壓電納米移動(dòng)臺(tái)系列,電控位移臺(tái)系列,手動(dòng)位移臺(tái)系列,光纖調(diào)整耦合系列,光學(xué)支架系列,光學(xué)元器件系列,光學(xué)平臺(tái)和系統(tǒng)定制等系列。
電控升降臺(tái)是指通過電機(jī)驅(qū)動(dòng),控制臺(tái)面做上下方向運(yùn)動(dòng)的電動(dòng)設(shè)備。卓立漢光的電控升降臺(tái)有三種方式:平移臺(tái)豎直方向使用,減速機(jī)升降,楔塊升降
精密位移臺(tái)的使用領(lǐng)域和發(fā)展前景怎樣?
位移臺(tái)精密定位在微觀領(lǐng)域研究是重要技術(shù)之一,其技術(shù)水平直接影響到微觀領(lǐng)域的研究水平
現(xiàn)在精密定位技術(shù)得到了廣泛的應(yīng)用。例如:
計(jì)量型紫外光學(xué)顯微鏡中,用于掩膜版的線寬測量;
原子力顯微鏡中,用于測量樣品表面微觀形貌以及進(jìn)行納米加工
精密位移定位技術(shù)根據(jù)定位行程的不同可分為,微行程和大行程定位技術(shù)。微行程定位技術(shù)是指幾納米至幾百微米的定位行程的精密定位;大行程定位技術(shù)是指幾毫米至幾百毫米的定位行程的精密定位。
在集成電路中,要求承載晶圓的工作臺(tái)能在多維方向上進(jìn)行毫米級行程內(nèi)的具有納米級定位精度的定位才能實(shí)現(xiàn)對直徑較大的晶圓的加工制造