早可用來(lái)制造銅版、鋅版等印刷凹凸版,也廣泛地被使用于減輕重量(Weight Reduction)儀器鑲板,銘牌及傳統(tǒng)加工法難以加工之薄形工件等的加工;經(jīng)過(guò)不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展,亦可以用于航空、機(jī)械、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工,特別在半導(dǎo)體制程上,蝕刻更是不可或缺的技術(shù)。
蝕刻工藝
曝光法:工程根據(jù)圖形開(kāi)出備料尺寸-材料準(zhǔn)備-材料清洗-烘干→貼膜或涂布→烘干→曝光→ 顯影→烘干-蝕刻→脫膜→OK
網(wǎng)印法:開(kāi)料→清洗板材(不銹鋼其它金屬材料)→絲網(wǎng)印→蝕刻→脫膜→OK
在蝕刻多層板內(nèi)層這樣的薄層壓板時(shí),板子容易卷繞在滾輪和傳送輪上而造成廢品。所以,蝕刻內(nèi)層板的設(shè)備能平穩(wěn)的,可靠地處理薄的層壓板。許多設(shè)備制造商在蝕刻機(jī)上附加齒輪或滾輪來(lái)防止這類現(xiàn)象的發(fā)生。更好的方法是采用附加的左右搖擺的聚四氟乙烯涂包線作為薄層壓板傳送的支撐物。對(duì)于薄銅箔(例如1/2或1/4盎司)的蝕刻,不被擦傷或劃傷。薄銅箔經(jīng)不住像蝕刻1盎司銅箔時(shí)的機(jī)械上的弊端,有時(shí)較劇烈的振顫都有可能劃傷銅箔。
銅對(duì)水的污染是印制電路生產(chǎn)中普遍存在的問(wèn)題,氨堿蝕刻液的使用更加重了這個(gè)問(wèn)題。因?yàn)殂~與氨絡(luò)合,不容易用離子交換法或堿沉淀法除去。所以,采用第二次噴淋操作的方法,用無(wú)銅的添加液來(lái)漂洗板子,大大地減少銅的排出量。然后,再用空氣刀在水漂洗之前將板面上多余的溶液除去,從而減輕了水對(duì)銅和蝕刻的鹽類的漂洗負(fù)擔(dān)。
傳統(tǒng)的蝕刻加工方法生產(chǎn)效率低下,污染極為嚴(yán)重,制作而成的蝕刻網(wǎng)有花邊、毛刺、砂眼等質(zhì)量方面的問(wèn)題。數(shù)印通蝕刻優(yōu)版的出現(xiàn),完全解決了傳統(tǒng)工藝所存在的缺陷,采用的噴墨印刷軟件和噴墨印刷設(shè)備,完全避免了環(huán)境污染的問(wèn)題,不僅提高了生產(chǎn)效率,還了蝕刻網(wǎng)的質(zhì)量。
蝕刻技術(shù)其特征在于:
1.)蝕刻速率(安培/分鐘)
2.)選擇性:S=蝕刻速率材料1/蝕刻速率據(jù)說(shuō)材料2對(duì)材料1比對(duì)材料2具有S的選擇性。
3.)各向異性:A=1-橫向蝕刻速率/垂直蝕刻速率
4.)欠切:如果0.8 um的線是由使用1 um的光致抗蝕劑線作為掩模的蝕刻產(chǎn)生的,那么對(duì)于該特定的蝕刻,據(jù)說(shuō)工藝偏差是0.1um。