由于半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程十分復(fù)雜,任何一個(gè)環(huán)節(jié)出現(xiàn)錯(cuò)誤都可能導(dǎo)致大量產(chǎn)品質(zhì)量不合格,甚至對(duì)終的應(yīng)用產(chǎn)品的性能產(chǎn)生重大影響。因此,測(cè)試在半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中具有非常重要的地位,貫穿于半導(dǎo)體產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造、包裝和應(yīng)用的整個(gè)過(guò)程中。
探針是半導(dǎo)體試驗(yàn)所需的重要耗材。通過(guò)與試驗(yàn)機(jī)、分揀機(jī)、探針臺(tái)配合使用,可以篩選出產(chǎn)品設(shè)計(jì)缺陷和制造缺陷,用于設(shè)計(jì)驗(yàn)證、晶圓試驗(yàn)和成品試驗(yàn)。它在確保產(chǎn)品產(chǎn)量、控制成本、指導(dǎo)芯片設(shè)計(jì)和工藝改進(jìn)方面發(fā)揮著重要作用。
探針的選用
(1)材料:選擇材質(zhì)通常為316不銹鋼、金屬玻璃、石英玻璃、硅、玻璃鋼等。不同材料的探針具有不同的化學(xué)惰性和機(jī)械性能,對(duì)探測(cè)的液體和氣體有不同的適應(yīng)性。
(2)形狀:選擇探針的形狀應(yīng)該根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行選擇,通常探針的形狀為直棒狀、U形、Z形等??紤]到實(shí)驗(yàn)的靈敏度問(wèn)題,在選用探針時(shí)與被測(cè)物相匹配。
(3)長(zhǎng)度:探針的長(zhǎng)度是下降液面幅度的關(guān)鍵因素。為獲得準(zhǔn)確的下降水平,要根據(jù)實(shí)際測(cè)量需求選擇合適的長(zhǎng)度。
(4)直徑:探針的粗細(xì)通常采用0.5mm至5mm之間。過(guò)粗的探針會(huì)影響測(cè)量的靈敏度,過(guò)細(xì)的探針則可能會(huì)導(dǎo)致探針的折斷。
(5)表面處理:在實(shí)驗(yàn)中,探針處于探測(cè)的介質(zhì)中,探針的表面形態(tài)和性質(zhì)會(huì)直接影響到測(cè)量結(jié)果。因此,探針的表面要求經(jīng)過(guò)光潔處理和表面處理。
探針的要求
(1)質(zhì)量問(wèn)題:在使用過(guò)程中應(yīng)定期進(jìn)行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會(huì)導(dǎo)致測(cè)量誤差增大,嚴(yán)重時(shí)可能會(huì)損壞實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
(2)加工工藝問(wèn)題:在探針的制作過(guò)程中,要探針的形狀、尺寸的與穩(wěn)定。
(3)使用注意事項(xiàng):避免在測(cè)量過(guò)程中引入空氣,勿使用有陷進(jìn)、連續(xù)的探針以免擾動(dòng)測(cè)量,對(duì)于使用多個(gè)探針進(jìn)行測(cè)量的情況要確保探針之間的長(zhǎng)度和間距足夠。
(4)存儲(chǔ)和保養(yǎng)問(wèn)題:盡可能地存儲(chǔ)環(huán)境無(wú)除塵、避光性好;探針表面不能有刮傷等損壞,使用前應(yīng)清洗干凈且消毒處理。
金屬回收:提取出的金屬可以被送往冶煉廠進(jìn)行再加工。在冶煉過(guò)程中,金屬可以被提純,以滿足不同行業(yè)的需求。金屬回收可以減少對(duì)礦石資源的依賴,降低環(huán)境壓力。
環(huán)保處理:廢料中的其他非金屬成分也需要得到妥善處理,以避免對(duì)環(huán)境造成污染。例如,廢酸可以通過(guò)中和和沉淀處理進(jìn)行無(wú)害化處理。廢水也需要經(jīng)過(guò)處理,以達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。