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更新時(shí)間:2025-10-04 [舉報(bào)]
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美國國外以美國KAYEX為代表,生產(chǎn)全自動硅單晶體生長爐。KAYEX是目前世界上,進(jìn)的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產(chǎn)品早在80年代初進(jìn)入市場,已成為半導(dǎo)體行業(yè)使用多的品牌。該生長的硅晶體生長爐從抽真空-檢漏-熔料-引晶-放肩-等徑-收尾到關(guān)機(jī)的全過程由計(jì)算機(jī)實(shí)行全自動控制。晶體產(chǎn)品的完整性與均勻性好,直徑偏差在單晶全長內(nèi)僅±1mm。主要產(chǎn)品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。藍(lán)寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,進(jìn)一步為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí),可以更方便地將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置,并方便外部化料器的移動、拆解和清理,連續(xù)拉晶單晶爐還包括化料器升降驅(qū)動裝置和化料器旋臂,所述底座上設(shè)置有立柱,所述化料器旋臂鉸接在立柱上,所述化料器升降驅(qū)動裝置連接在化料器旋臂上,所述外部化料器連接在化料器升降驅(qū)動裝置上,以便在不繼續(xù)加料時(shí),通過化料器升降驅(qū)動裝置驅(qū)動外部化料器上升不干涉主爐室坩堝上升的位置;和化料器升降驅(qū)動裝置及外部化料器隨化料器旋臂一起轉(zhuǎn)動。進(jìn)一步提供了一種化料器升降驅(qū)動裝置的具體結(jié)構(gòu),所述化料器升降驅(qū)動裝置包括支撐桿、絲杠、電機(jī)和連接塊,所述支撐桿連接在化料器旋臂上,所述絲杠可旋轉(zhuǎn)地支承在支撐桿上,所述電機(jī)連接在絲杠上,所述連接塊通過螺紋連接在絲杠上,所述外部化料器連接在連接塊上,以便通過電機(jī)驅(qū)動絲杠旋轉(zhuǎn),進(jìn)而將絲杠的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)換為連接塊的直線運(yùn)動,并通過所述連接塊帶動外部化料器升降。
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無錫江陰離子泵回收 無錫江陰單晶爐回收本文結(jié)合某單晶爐產(chǎn)品的研制 ,設(shè)計(jì)了一種實(shí)用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng) ,并在實(shí)際生產(chǎn)中獲得成功應(yīng)用。2 設(shè)計(jì)的關(guān)鍵圖 1示出了單晶爐提拉的工藝過程。提拉控制系統(tǒng)的驅(qū)動電機(jī)轉(zhuǎn)速 n經(jīng)減速器、齒輪齒條減速后帶動提拉桿上下運(yùn)動。根據(jù)硅單晶生產(chǎn)工藝 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2~ 1 0 .0 ) mm/h內(nèi)無級調(diào)節(jié) ,它相對于給定信號的線性精度 ± 2 %。經(jīng)折算后 (見下節(jié)式 ( 3) )
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