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其中,直接有效的方法是提高生產(chǎn)時效,增加單爐的月產(chǎn)能。筆者長期從事單晶生產(chǎn)工作,經(jīng)調(diào)研與現(xiàn)場試驗,采用離線裝料技術(shù)不僅可以縮短運行周期、提高工作效率,而且可以確保坩堝內(nèi)所裝硅料的潔凈度,具有較強的實用性和經(jīng)濟推廣價值。1離線裝料的工作原理使用一個真空吸盤和一個特制的密封圈與裝滿多晶硅原生料的石英坩堝密封,
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單晶爐熱場的設(shè)計與仿真單晶直徑在生長過程中可受到溫度,提拉速度與轉(zhuǎn)速,坩堝跟蹤速度與轉(zhuǎn)速,保護氣體的流速等因素的影響。其中溫度主要決定能否成晶,而速度將直接影響到晶體的內(nèi)在質(zhì)量,而這種影響卻只能在單晶拉出后通過檢測才能獲知。溫度分布合適的熱場,不僅單晶生長順利,而且品質(zhì)較高;如果熱場的溫度分布不是很合理,生長單晶的過程中容易產(chǎn)生各種缺陷,影響質(zhì)量,情況嚴重的出現(xiàn)變晶現(xiàn)象生長不出來單晶。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,直拉法,也叫切克勞斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克勞斯基建立的一種晶體生長方法,用直拉法生長單晶的設(shè)備和工藝比較簡單,容易實現(xiàn)自動控制,生產(chǎn),易于制備大直徑單晶,容易控制單晶中雜質(zhì)濃度,可以制備低電阻率單晶。據(jù)統(tǒng)計,世界上硅單晶的產(chǎn)量中70%~80%是用直拉法生產(chǎn)的。江南電力光伏科技有限,引進消化吸收國外技術(shù)研發(fā)環(huán)保清潔可再生新能源產(chǎn)品——太陽能光伏發(fā)電站和風力發(fā)電站的相關(guān)設(shè)備。其中硅單晶生長爐設(shè)備有兩大系列三個品種,具有自主知識產(chǎn)權(quán)。生產(chǎn)的單晶硅生長爐(TDR85/95/105-JN)單晶硅生長爐(TDR85/95/105-JN)DR—JN系列全自動晶體生長爐具有自主知識產(chǎn)權(quán),是采用直拉法生長P型或N型單晶硅材料的設(shè)備。裝料量從95Kg~150Kg,可拉制6"~12"電路級和太陽能級單晶硅棒。