EDS： 入射電子束可停留在被觀察區(qū)域上的任何位置.X射線在直徑1微米的體積內(nèi)產(chǎn)生,可對試樣表面元素的分布進(jìn)行質(zhì)和量的分析。

SEM+EDS主要檢測范圍
1.表面微觀結(jié)構(gòu)觀察及微小顆粒物尺寸量測
2.微薄鍍層厚度測量
3.表面失效分析（異色、腐蝕、損傷等檢測）；
4.表面相分析、夾雜物鑒別等；
5.金屬斷口分析；
6.焊接或合成界面分析；
7.錫須觀察

場掃描電鏡對樣品要求，如下：
1.樣品要盡可能干燥，若樣品中含有水份，水分揮發(fā)會(huì)造成倉內(nèi)真空度急劇下降，導(dǎo)致圖像漂移，有白色條紋，甚至?xí)绊憻艚z壽命；
2.熱穩(wěn)定性好，熱穩(wěn)定性差的樣品往往在電子束的轟擊下分解，釋放氣體和其他物質(zhì)，污染電鏡；
3.導(dǎo)電性好，導(dǎo)電性差的樣品會(huì)發(fā)生荷電效應(yīng)，造成圖像畸變，亮點(diǎn)亮線，像散等；
4.不含強(qiáng)磁性，強(qiáng)磁性的樣品觀察一般會(huì)出現(xiàn)嚴(yán)重的像散，無法消去，磁性粉末如果粘的不牢固還可能會(huì)吸附到探頭上，損害電鏡