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直拉硅單晶熱場加熱器設計分析\1熱場及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進行單晶生長的整個溫度場系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導流系統(tǒng)包括導流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進行,以及晶棒的拉速和品質。

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中頻電爐設備主要應用領域: 1、機床導軌的淬火處理； 2、煤礦用截齒的焊接；礦山用一字釬頭和梅花釬頭的焊接； 4、直徑30以下螺栓的熱變形； 5、直徑30以下的螺母的熱變形； 6、金屬粉末重熔； 7、直徑300以下鏈輪的熱處理； 8、直徑80以下軸的淬火處理； 9、直徑80以下工件的橫截面處理； 10、各種手工工具的淬火處理（錘子，斧頭，管鉗，斷線鉗）； 11、各種汽車工具的熱變形（如套筒扳手）； 12、汽車、托車零部件的局部熱處理； 13、各種機械零部件的的局部熱處理（需廠家提供圖紙及技術要求）。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，本文結合某單晶爐產(chǎn)品的研制 ,設計了一種實用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng) ,并在實際生產(chǎn)中獲得成功應用。2　設計的關鍵圖 1示出了單晶爐提拉的工藝過程。提拉控制系統(tǒng)的驅動電機轉速 n經(jīng)減速器、齒輪齒條減速后帶動提拉桿上下運動。根據(jù)硅單晶生產(chǎn)工藝 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h內無級調節(jié) ,它相對于給定信號的線性精度 ± 2 %。經(jīng)折算后 (見下節(jié)式 ( 3) )