多功用磁控濺射鍍膜系統(tǒng)，由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完結(jié)薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進(jìn)行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸騰鍍膜與手套箱組合，實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測驗(yàn)等工藝全封閉制造，使整個(gè)薄膜生長和器材制備過程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氣氛的系統(tǒng)中，消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高功用、大面積有機(jī)光電器材和電路的制備。

眾所周知，真空鍍膜機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)將直接影響鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量。為了更好地運(yùn)行，有必要對真空鍍膜機(jī)進(jìn)行維護(hù)。那么，你知道真空鍍膜機(jī)維護(hù)的意義嗎?　　設(shè)備的日常維護(hù)就是發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)中的異?，F(xiàn)象，盡早解決。如果發(fā)現(xiàn)機(jī)械泵的油量減少，應(yīng)該添加。不要認(rèn)為應(yīng)該定期換油。否則，在進(jìn)行維護(hù)時(shí)，泵的轉(zhuǎn)子可能會嚴(yán)重磨損。比如有些軸承工件被夾住，就要更換軸承;否則壞了，問題就嚴(yán)重了，可能會出現(xiàn)電機(jī)燒毀等問題。

在檢漏過程中，為了做好檢漏工作，有必要注意一些問題。

，檢查虛漏是否仍為實(shí)漏，因?yàn)楣ぜ?shù)據(jù)加熱后會出現(xiàn)不同程度的氣體，有可能被誤認(rèn)為是從外部流出的氣體，這就是虛漏，要消除這種情況。

第二，測試真空室的氣密性功能，確保氣密性功能符合要求。

三、檢查漏孔的大小、形狀、方位、漏速，編制解決方案并實(shí)施。

四、得出檢測儀器檢漏的檢出率和靈敏度，要檢查刻度的泄漏情況，防止一些泄漏孔被疏忽，提高泄漏檢測的準(zhǔn)確性。

五、掌握檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間和消除時(shí)間，把握好時(shí)間，檢漏儀操作到位，時(shí)間少，檢漏功能一定差，時(shí)間長，浪費(fèi)檢漏氣和人工電。

六、還要防止泄漏堵塞，有時(shí)由于操作失誤，在檢漏過程中，一些灰塵或液體將泄漏堵塞，認(rèn)為孔的方向沒有泄漏，但當(dāng)由于內(nèi)外壓差進(jìn)展或其他原因?qū)е滦孤┛孜炊氯麜r(shí)，泄漏仍在那里。