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爐子本體包括機(jī)架、坩堝驅(qū)動裝置、主爐室、翻板閥、副爐室、籽晶提升機(jī)構(gòu)、液壓驅(qū)動裝置、真空系統(tǒng)、沖系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)。機(jī)架由底座、上立柱和下立柱組成，是爐子的支撐裝置。江浙滬皖贛冶煉行業(yè)成套設(shè)備回收單位，整改停用冶煉機(jī)械產(chǎn)品拆除回收，本長期收購中頻爐，單晶爐，電解爐，高風(fēng)爐，熱風(fēng)爐，單晶硅生長爐，整改回收，整流柜收購，電抗器拆除回收，水冷電纜拆除收購，動力電纜拆除收購業(yè)務(wù)，我長年收購單晶爐設(shè)備歡迎來電詳詢。

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并在副爐室3移取晶位的過程中，通過電動接晶托防止晶棒掉落，安全；當(dāng)不再繼續(xù)加料時，通過化料器升降驅(qū)動裝置將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置，并通過化料器旋臂18的旋轉(zhuǎn)旋開外部化料器7，進(jìn)而方便拆爐和清理；本發(fā)明通過減震裝置對下驅(qū)動裝置進(jìn)行減震，使拉晶時下驅(qū)動裝置不受外界震動影響，進(jìn)而保晶棒質(zhì)量；本發(fā)明的升降絲桿91、旋轉(zhuǎn)絲桿112和絲杠192的外側(cè)分別套裝有防塵罩，進(jìn)而防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，DL-78型單晶爐的熱場和減壓工藝\1前言集成電路生產(chǎn)的發(fā)展一方面不斷縮小元件尺寸，以提高集成度；另一方面不斷擴(kuò)大硅片直徑以減少芯片的離故度和降低成本。相應(yīng)地，作為集成電路基礎(chǔ)材料的硅單晶生產(chǎn)也在不斷地提高其技術(shù)質(zhì)量指標(biāo)和增大單晶錠的直徑和長度，以滿足電路的要求和降低自身的生產(chǎn)成本。在國外市場上，硅晶體直徑大致每4～5年增長1時（25．4mm），相應(yīng)地，生產(chǎn)投料重也由1公斤逐漸發(fā)展為3～5公斤、8～12公斤、15～劉公斤和朋～6O公廳等幾個等級。在這發(fā)展中，有兩個條件是相輔相成、共同進(jìn)步的，這是單晶爐和拉晶工藝。